[发明专利]一种钢板的连续真空镀膜机

说明书

本发明公开了一种钢板的连续真空镀膜机，包括真空室，所述真空室中设有放卷装置、收卷装置与立式镀膜装置，所述立式镀膜装置位于放卷装置的竖直方向上；所述真空室内还设有多个转辊，所述转辊中包括加热辊与冷却辊。本发明通过利用立式的镀膜装置对钢板进行镀膜，钢板在放卷后不再沿着走水平方向走，而是沿着竖直方向进入到立式镀膜装置，在镀膜的时候，由于钢板的表面与水平面是垂直的，所以在电镀的时候，钢板表面的杂质会在重力的作用下往下掉，而不会集聚在钢板的表面，因此镀膜后其表面的成型质量更好，而且整个镀膜机呈立式布置，占地空间更小。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是钢板卷带的真空镀膜。

背景技术

真空镀膜是一种由物理或者化学方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术可以用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等；以及其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工硬性。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀和纯离子镀膜。

现有技术对连续的钢板进行镀膜加工的真空等离子体镀膜设备，主要由放料室、多个镀膜室、多个过渡室和收料室所组成，而且这些设备都是呈一字型排开，整套镀膜设备体积庞大，设备长度一般达到十几米到几十米长，设备安装时占地空间大。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种能对钢板连续镀膜的新式设备。

本发明解决其技术问题的解决方案是：一种钢板的连续真空镀膜机，包括真空室，所述真空室中设有放卷装置、收卷装置与立式镀膜装置，所述立式镀膜装置位于放卷装置的竖直方向上；所述真空室内还设有多个转辊，所述转辊中包括加热辊与冷却辊，所述加热辊布置在靠近所述的放卷装置的一侧，所述冷却辊布置在靠近所述收卷装置的一侧。

本发明的有益效果是：本发明通过利用立式的镀膜装置对钢板进行镀膜，钢板在放卷后不再沿着走水平方向走，而是通过转辊沿着竖直方向进入到立式镀膜装置，在镀膜的时候，由于钢板的表面与水平面是垂直的，所以在电镀的时候，钢板表面的杂质会在重力的作用下往下掉，而不会集聚在钢板的表面，因此镀膜后其表面的成型质量更好。而且整个镀膜机呈立式布置，占地空间更小；同时钢板在真空室内靠转辊实现换向，其中转辊包括加热辊与冷却辊，利用加热辊可以对钢板在放卷后进行加热，钢板一边放卷一边与加热辊的表面发生接触，从而使得钢板的温度升高，升温后的钢板更利于镀膜的进行；而在升温后，利用冷却辊将钢板的温度降下来，方便进行钢板的收卷。

作为上述技术方案的进一步改进，所述真空室包括第一真空腔室、第二真空腔室与第三真空腔室，所述第一真空腔室与第二真空腔室并排设置，所述第一真空腔室位于第二真空腔室的左侧，所述第三真空腔室位于第一真空腔室与第二真空腔室的上方；所述放卷装置放置在第一真空腔室中，所述收卷装置放置在第二真空腔室中；所述立式镀膜装置位于第三真空腔室中。将真空室分为三个腔室，不仅节省材料，而且整体的空间更小，减少对真空泵的负载压力，同时三个独立的腔室使得在工作的时候操作更加方便。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第三真空腔室呈“门”形，所述第三真空腔室包括左室体、右室体与中间室体，所述左室体与第一真空腔室通过第一通口连通，所述右室体与第二真空腔室通过第二通口连通；所述立式镀膜装置包括第一阴极溅射源组与第二阴极溅射源组，所述第一阴极溅射源组位于左室体中，所述第二阴极溅射源组位于右室体中。采用该结构后，使得第三真空腔室的结构更加紧凑，而且利用两个阴极溅射源组对钢板进行真空镀膜，增大成膜速率。所述第一阴极溅射源组包括多套溅射源，多套溅射源相互平行且自下而上排布。所述溅射源包括多弧溅射源、柱弧溅射源或者平面弧溅射源。根据生产的实际需要，可以设置第一阴极溅射源组的溅射源，该溅射源可以采用多弧溅射源、柱弧溅射源、平面弧溅射源或者磁控溅射源的其中一种或者其中若干种的组合。