[发明专利]平面电容传感器及其制作方法

说明书

本发明公开了一种平面电容传感器及其制作方法，包括第一平面电极、第二平面电极和介电层，所述第一平面电极与所述第二平面电极相对设置，且所述介电层位于所述第一平面电极与所述第二平面电极之间；其中，所述介电层在朝向所述第一平面电极的表面设置有凸起部，所述第一平面电极在朝向所述介电层的表面设置有凹陷部，所述凸起部嵌入所述凹陷部内。本发明通过改变平面电容传感器一侧电极的结构，使得该平面电极的一侧由平面结构改变为立体结构，当平面传电容传感器发生内弯或者外弯时，其电容值随弯折角度的变化曲线不再相同，因此通过两条不同的变化曲线就可以直接判断出平面电容传感器发生了内弯或者外弯。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，特别是指一种平面电容传感器及其制作方法。

背景技术

传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

在现有的传感器中，平面电容传感器是占比比较大的一类，且广泛应用于电子屏幕、手机等类型产品中。而这些产品未来的趋势是希望在柔性体上呈现大量的信息，即在柔性显示器上进行显示，实现柔性显示。对于柔性显示器的官方定义为，其显示屏和模组在基板包装、生产、存储、使用、操作、工序衔接、搬运、运输等任何一个步骤中都可以实现机械弯曲的显示器装置。

如图1所示，其为现有技术中平面电容传感器的横截面。从图中可以看出，两个平面电极对称地设置在介电层的两侧，因此无论是对该平面电容传感器进行内弯还是外弯，随着弯折角度的变化，其电容变化率都是相同的，如图2所示。

因此现有的传感器不能直接检测外弯还是内弯，需要通过安装在非弯折区的基准传感器来获得信息的匹配，从而判断安装在弯折区的传感器发生了内弯还是外弯，使用起来不是很方便。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种平面电容传感器及其制作方法，以解决现有技术中存在的技术问题。

根据本发明第一方面，其提供了一种平面电容传感器，包括第一平面电极、第二平面电极和介电层，所述第一平面电极与所述第二平面电极相对设置，且所述介电层位于所述第一平面电极与所述第二平面电极之间；

其中，所述介电层在朝向所述第一平面电极的表面设置有凸起部，所述第一平面电极在朝向所述介电层的表面设置有凹陷部，所述凸起部嵌入所述凹陷部内。

在本发明的一些实施例中，所述凸起部与所述凹陷部的形状相同。

在本发明的一些实施例中，所述凸起部的形状为柱状、球面状和锥状中的至少一种。

在本发明的一些实施例中，每个所述凸起部的形状均相同，每个所述凸起部的高度均相同。

在本发明的一些实施例中，所述凸起部的数量与所述凹陷部的数量相同，每一个所述凸起部嵌入与其对应的所述凹陷部内。

在本发明的一些实施例中，所述凸起部的数量为多个，多个所述凸起部以阵列方式分布在所述介电层的表面。

在本发明的一些实施例中，相邻两个所述凸起部之间的间距相同。

在本发明的一些实施例中，所述第一平面电极与所述第二平面电极互相平行。

根据本发明第二方面，其提供了一种平面电容传感器的制作方法，包括以下步骤：

制作第二平面电极；

在所述第二平面电极上制作介电层和凸起部；

在所述介电层和所述凸起部上制作凹陷部和第一平面电极。

根据本发明第三方面，其提供了一种平面电容传感器的制作方法，包括以下步骤：

制作第一平面电极和凹陷部；