[发明专利]一种光罩台车及光罩系统

说明书

本发明提供一种光罩台车及光罩系统，该光罩台车包括：本体部，具有一容纳腔室，所述容纳腔室用于放置掩膜板；所述本体部包括多个竖直支架，其中靠近所述曝光机侧的竖直支架上开设有凹槽，且所述凹槽的位置与所述曝光机上的连锁报警设备的位置对应，所述凹槽可容纳所述连锁报警设备。本发明的光罩台车及光罩系统，能够提高生产效率。

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种光罩台车及光罩系统。

【背景技术】

近年来，中小尺寸液晶显示器发展迅猛，制备过程中需要使用到精密光学仪器曝光机，曝光机制程过程中需要使用到掩膜板(mask)，目前mask主要通过光罩台车(比如，MGV台车)将mask送入曝光机，然后进行后续的流程。

光罩台车从掩膜板储料器内取出掩膜板后，光罩台车先与曝光机进行对位，曝光机的掩膜门(Mask door)打开，对位完成后，将掩膜板送至曝光机光罩承载台(MsakLoader)，然而光罩台车的竖直支架在对位过程中总是撞击到掩膜门上的连锁报警设备，导致连锁报警设备受力损坏，从而触发报警，导致无法进行下一步制程，降低了生产效率。

因此，有必要提供一种光罩台车及光罩系统，以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种光罩台车及光罩系统，能够提高生产效率。

为解决上述技术问题，本发明提供一种光罩台车，其中所述光罩台车用于将掩膜板传输至曝光机；所述光罩台车包括：

本体部，具有一容纳腔室，所述容纳腔室用于放置掩膜板；所述本体部包括多个竖直支架，其中靠近所述曝光机侧的竖直支架上开设有凹槽，且所述凹槽的位置与所述曝光机上的连锁报警设备的位置对应，所述凹槽可容纳所述连锁报警设备。

本发明还提供一种光罩系统，包括曝光机和上述光罩台车。

本发明的光罩台车及光罩系统，通过在靠近所述曝光机侧的竖直支架上开设有凹槽，因此可防止对位过程中，竖直支架与曝光机上的连锁报警设备发生碰撞，防止器件受损而影响制程进程，提高了生产效率。

【附图说明】

图1为本发明光罩台车和曝光机的结构示意图；

图2为本发明光罩台车对位后的结构示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

如图1所示，本发明的光罩台车100用于将掩膜板传输至曝光机200；所述光罩台车100包括：本体部10。

本体部10具有一容纳腔室，所述容纳腔室用于放置掩膜板(图中未示出)；所述本体部10包括多个竖直支架11，其中靠近所述曝光机200侧的竖直支架11上开设有凹槽111，且所述凹槽111的位置与所述曝光机200上的连锁报警设备21的位置对应，所述凹槽111可容纳所述连锁报警设备21。

其中为了进一步防止与连锁报警设备碰撞，所述凹槽111可位于靠近所述曝光机200侧的竖直支架11的外侧，比如在最右侧的竖直支架的外侧设置有凹槽111。比如最右侧的竖直支架的外侧切割长15cm、内宽1.5cm的长方体结构，使连锁报警设备在凹槽空间内，以避开连锁报警设备20，防止其与竖直支架撞击。

其中，所述连锁报警设备20包括报警器21，所述凹槽111的长度大于所述报警器21的长度，所述凹槽111的宽度大于所述报警器21的宽度。