[发明专利]一种HIT镀膜设备在线清洗后腔体寿命快速恢复方法

权利要求书

1.一种HIT镀膜设备在线清洗后腔体寿命快速恢复方法，其特征在于，包括如下工艺步骤：

1)腔体在线清洗工艺：用NF₃为清洗气体，NF₃在射频电源能量作用下分解出氟原子，氟原子和残留的硅反应生成气态SiF₄，然后通过真空泵抽空排出；

2)氢气等离子清洗工艺：氢气在射频电源能量作用下生产出还原性极强的氢原子，并与附着在腔体壁上的氟原子反应，生成HF，快速去除干法刻蚀气体的残留，工艺时间5分钟；

3)预镀膜工艺：使用正常镀膜工艺覆盖清洗后的腔体，工艺时间15分钟。

2.根据权利要求1所述的一种HIT镀膜设备在线清洗后腔体寿命快速恢复方法，其特征在于，步骤1)中每镀膜24小时，则在线清洗1小时以去除附着物。

3.根据权利要求2所述的一种HIT镀膜设备在线清洗后腔体寿命快速恢复方法，其特征在于，每镀膜24小时，则自动启动腔体在线清洗工艺、氢气等离子清洗工艺及预镀膜工艺，然后自动恢复正常镀膜工艺。