[发明专利]超大超重衬底表面光刻胶均匀涂覆的旋涂设备

权利要求书

1.一种超大超重衬底表面光刻胶均匀涂覆的旋涂设备，其特征在于包括：旋涂主机(1)、上下样系统(2)和总控系统(3),

所述的旋涂主机(1)，包含上罩(4)、涂胶腔室(5)、匀胶转盘(6)、同步罩(10)、第一顶升装置(12)、上罩顶升装置(13)、气浮真空泵(14)、驱动电机(15)、自动滴胶系统(17)、气浮转台(19)、真空泵(20)、大理石底座(21)和密封卡扣(8)，以大理石底座(21)为基础，所述的气浮转台(19)、第一顶升装置(12)、驱动电机(15)安装在所述的大理石底座(21)上，所述的匀胶转盘(6)安装在气浮转台(19)上，所述的上罩顶升装置(13)安装于旋涂主机(1)的外侧，所述的上罩顶升装置(13)之顶是上罩(4)，所述的同步罩(10)安装在所述的上罩(4)中心的下方，所述的同步罩(10)的直径与所述的匀胶转盘(6)的直径相等，所述的自动滴胶系统(17)安装在涂胶腔室(5)的底部，与所述的匀胶转盘(6)有一定距离，所述的自动滴胶系统(17)由储液桶、蠕动泵、滴胶管、转动电机和滴胶臂组成，储液桶在下方通过滴胶管与滴胶臂连接，蠕动泵用来控制流量，当需要滴胶时，转动电机带动滴胶臂在样品上方滴液，所述的上罩(4)和涂胶腔室(5)的接触部分要密封完好，并使用密封卡扣(8)扣紧；

所述的上下样系统(2)包含传送轨道(7)、传动电机(16)、第二顶升装置(18)和大理石底座(22)，在所述的大理石底座(22)上设置所述的第二顶升装置(18)，该系统最上部分是两条平行传送轨道(7)，在传送轨道(7)的下方安装所述的传动电机(16)；

所述的总控系统(3)通过线缆(9)与所述的第一顶升装置(12)、上罩顶升装置(13)、气浮真空泵(14)、驱动电机(15)、自动滴胶系统(17)、气浮转台(19)、真空泵(20)、第二顶升装置(18)、传动电机(16)的控制端相连。

2.根据权利要求1所述的超大超重衬底表面光刻胶均匀涂覆的旋涂设备，其特征在于所述的气浮转台(19)最高转速为1000RPM，最高转速加速度为25RPM/s，转速精度优于±1RPM，且具有自动动平衡调节功能，气浮真空泵(14)安装在气浮转台(19)上，以提供稳定的气压保证其安全运行，驱动电机(15)与气浮转台(19)相连，为其提供旋转动力，所述的气浮转台(19)的工艺参数如下：转速加速度为10RPM/s，转速为300-350RPM，恒转速时间为120s，降速加速度为25RPM/s。

3.根据权利要求1所述的超大超重衬底表面光刻胶均匀涂覆的旋涂设备，其特征在于所述的匀胶转盘(6)由四块补圆工装(23、24)和集液底板(25)组成，用于安装所述的衬底。