[发明专利]一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法

说明书

本发明提供一种用于大漏测量的检漏装置，包括气源、与气源通过气源管道连接的储气腔、与储气腔通过充气管道连接的真空腔、与储气腔连接的压力传感器，所述真空腔与充气管道连接的接口处设置充气阀门，储气腔与气源管道连接的接口处设置气源阀门。

技术领域

本发明属于大漏测量技术领域，具体涉及一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法。

背景技术

对于自闭工件进行氦检漏的方法，通常采用压氦真空箱氦检漏，即将工件放入压氦腔内，向压氦腔充入设定压力的氦气，保持设定的时间，如果是有漏的工件，压氦腔内的氦气将通过有漏工件的漏孔(有漏部位)进入工件内部。没有漏的工件则不会有氦气漏入工件。完成设定的压氦时间后，将压氦腔内的氦气排除，然后将工件取出，用氮气吹扫工件表面，清除工件表面的浮氦，之后将工件放入真空检测腔，对检测腔抽真空，达到设定真空度后，接通氦质谱检漏仪，氦质谱检漏仪检测到氦元素后，根据设定的报警线，判定产品是否合格。这种检漏方式可以对非预充氦气自闭体工件进行高精度的真空箱氦泄漏检测，但是如果工件上的漏孔很大时，工件在压氦完成后，压氦腔排氦、吹扫工件表面浮氦、放入检测腔后对检测腔抽真空以及工件在整个工艺流动过程中，压入的氦气会大量的溢散，甚至散完。导致检测结果偏差巨大，甚至出现有漏品判定为合格品的重大质量问题。因此在压氦真空箱氦检漏之前，对自闭体工件进行大漏泄漏检测是非常重要和必要的一个关键工艺。

发明内容

基于以上问题，本发明的目的在于提供一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法。

为了实现以上目的，本发明采用的技术方案为：一种用于大漏测量的检漏装置，包括气源、与气源通过气源管道连接的储气腔、与储气腔通过充气管道连接的真空腔、与储气腔连接的压力传感器，所述真空腔与充气管道连接的接口处设置充气阀门，储气腔与气源管道连接的接口处设置气源阀门。

将上述检漏装置用于进行工件检漏的方法，包括以下步骤：

步骤1、将待检漏产品置于真空腔内，将真空腔抽真空并密封，使充气阀门与气源阀门处于关闭状态；

步骤2、打开气源阀门，通过气源向储气腔充压缩气体至压力传感器显示储气腔内达到设定压力，关闭气源阀门，打开充气阀门，储气腔内的压缩气体通过充气管道进入真空腔，待真空腔与储气腔内的压力平衡后通过压力传感器检测储气腔内压力；通过压力平衡后压力传感器上显示的值判断工件是否产生大漏；具体判断原理为：

设定储气腔容积为V、真空腔容积为V₁、待检漏产品容积为V₂，储气腔充气后压力为P；若产品无大漏，则步骤2中压力平衡后储气腔内气体压力理论值为P1：

P1＝PV/(V+V₁-V₂)

若产品有大漏，则步骤2中压力平衡后储气腔内气体压力实际值为P2：

P2＝PV/(V+V₁)

判定标准为：当P₂＝P₁时，工件产品为非大漏品，当P₂＜P₁时，工件产品为大漏品。

在上述检漏方法中，设备实际控制体现为P₂＜(P1-FS*0.2％)*\U+3b2时为大漏品。FS为传感器量程，\U+3b2为安全系数(安全系数主要影响因素为：温度、湿度、产品一致性误差等)。

优化的，若干真空腔分别通过若干充气管道与储气腔连接，检测时，对每个与储气腔连接的真空腔内的产品依次进行步骤2的操作即可。

优化的，若干储气腔分别通过气源管道与气源连接。

本发明的有益效果为：