[发明专利]一种晶圆承载装置

权利要求书

1.一种晶圆承载装置，包括承载头和上部气动组件，所述承载头通过连接组件耦接至所述上部气动组件，所述连接组件包括定位销和具有定位销孔的法兰盘，所述定位销的主体和法兰盘由金属材料制成，所述定位销的部分或全部表面设置有非金属结构使得所述定位销与所述法兰盘接触不产生金属污染物。

2.如权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述非金属结构设置于所述定位销的插入所述定位销孔的端面处。

3.如权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述非金属结构形成为圆台，所述圆台与定位销结合的底面的直径等于所述定位销的直径并且所述圆台顶面的直径小于等于所述定位销的直径。

4.如权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述非金属结构由塑料、陶瓷、玻璃中的至少一种制成。

5.如权利要求4所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述塑料为硬质工程塑料。

6.如权利要求5所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述硬质工程塑料为硬质聚氯乙烯、聚乙烯、有机玻璃、聚丙烯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯、尼龙、PET、ABS、PEEK和/或PPS。

7.如权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述非金属结构由含有纤维和/或石墨烯的复合塑料制成。

8.如权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述金属材料为不含有铝元素的硬质金属材料。

9.一种晶圆承载装置，包括承载头和上部气动组件，所述承载头通过连接组件耦接至所述上部气动组件，所述连接组件包括定位销和具有定位销孔的法兰盘，所述法兰盘由金属材料制成并且所述定位销由非金属材料制成。

10.如权利要求9所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述非金属材料为硬质聚氯乙烯、聚乙烯、有机玻璃、聚丙烯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯、尼龙、PET、ABS、PEEK、陶瓷、玻璃和/或PPS。