[发明专利]真空阀门有效
| 申请号： | 201910864400.X | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN111350827B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K31/06;F16K51/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 阀门 | ||
1.一种真空阀门，对阀体以相对于阀门开口进行升降驱动，而进行阀门开闭动作，所述阀体是与所述阀门开口相向配置，所述真空阀门的特征在于，包括：
第一升降驱动部，对所述阀体以第一最小驱动可能量进行升降驱动；
第二升降驱动部，对所述阀体以第二最小驱动可能量进行升降驱动，所述第二最小驱动可能量小于所述第一最小驱动可能量；以及
阀门控制装置，包括：
第一控制部，基于腔室的压力目标值及压力测量值，通过开环控制而对所述第一升降驱动部的升降驱动进行控制，所述腔室是经由所述真空阀门而真空排气；以及
第二控制部，基于所述腔室的所述压力目标值及所述压力测量值，通过闭环控制而对所述第二升降驱动部的升降驱动或所述第一升降驱动部及第二升降驱动部进行控制，所述腔室是经由所述真空阀门而真空排气。
2.根据权利要求1所述的真空阀门，其中
所述第一升降驱动部，对所述第二升降驱动部以与所述阀体一体地在所述阀体的升降方向上进行驱动。
3.根据权利要求1或2所述的真空阀门，其中
所述第二升降驱动部是磁悬浮致动器，对所述阀体在升降方向上进行磁悬浮支撑。
4.根据权利要求1或2所述的真空阀门，其中
所述第二控制部，基于所述第一升降驱动部的升降驱动后的所述压力目标值及所述压力测量值，对所述第二升降驱动部的升降驱动进行控制。
5.一种真空阀门，对阀体以相对于阀门开口进行升降驱动，而进行阀门开闭动作，所述阀体是与所述阀门开口相向配置，所述真空阀门的特征在于，包括：
第一升降驱动部，对所述阀体以第一最小驱动可能量进行升降驱动；
第二升降驱动部，对所述阀体以第二最小驱动可能量进行升降驱动，所述第二最小驱动可能量小于所述第一最小驱动可能量，所述第二升降驱动部是磁悬浮致动器，对所述阀体在升降方向上进行磁悬浮支撑；以及
阀门控制装置，包括：
第一控制部，基于腔室的压力目标值及压力测量值，通过开环控制而对所述第一升降驱动部的升降驱动进行控制，所述腔室是经由所述真空阀门而真空排气；以及
第二控制部，基于所述腔室的所述压力目标值及所述压力测量值，通过闭环控制而对所述第二升降驱动部的升降驱动进行控制，所述腔室是经由所述真空阀门而真空排气；并且
所述第二控制部在所述真空阀门的全闭时，通过所述磁悬浮致动器而对所述阀体朝阀座的方向进行驱动，以规定的力使所述阀体按压至密封构件，所述密封构件设置于所述阀体与所述阀座之间。
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