[发明专利]基于马赫曾德干涉的光纤湿度传感器在审
| 申请号： | 201910865868.0 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110455748A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 沈常宇;王勇能 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01D5/353 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光纤湿度传感器 宽带光源 塑料软管 传感器 光电探测器输出 光电探测器 抗电磁干扰 灵敏度关系 蒸馏水装置 单模光纤 光源波动 连续波长 湿度环境 湿度特性 吸湿装置 逐渐增加 法兰盘 干涉峰 可循环 耐腐蚀 湿度计 示波器 橡皮管 气泵 干涉 制作 应用 | ||
1.基于马赫-曾德干涉的光纤湿度传感器，由光电探测器(1)，宽带光源(2)，传感器(3)，湿度箱(4)，湿度计(5)，气泵(6)，法兰盘(7)，吸湿装置(8)，蒸馏水装置(9)，橡皮管(10)，第一塑料软管(11)，第二塑料软管(12)，单模光纤(13)组成；其特征在于：传感器(3)的马赫曾德干涉结构为错位结构，该错位结构由两段光纤光栅错位熔接而成；错位范围为3-6.5微米；错位结构表面涂有明胶，长度为3mm，湿度灵敏度为0.1553dB/％RH；宽带光源(1)通过单模光纤(13)和法兰盘(7)与湿度箱(4)里的传感器(3)一端连接，另一端接光电探测器(1)输出波形,湿度箱(4)下方开一条1mm*5mm的缝隙，便于湿度计(5)芯片穿过，且与传感器(3)靠近，距离湿度箱(4)底部为0.5mm的左右两端各开一个直径1mm的圆形小孔，气泵(6)两端先通过第一塑料软管(11)，后用橡皮管(10)分别连接到吸湿装置(8)和蒸馏水装置(9)，再分别用橡皮管(10)和第二塑料软管(12)连接到湿度箱(4)的两端接口。
2.根据权利要求1所述的基于马赫曾德干涉的光纤湿度传感器,其特征在于:传感器(3)的光纤光栅中心波长为1542nm。
3.根据权利要求1所述的基于马赫曾德干涉的光纤湿度传感器,其特征在于:吸湿装置(8)内用无水硅胶材料填充2/3容器体积，蒸馏水装置(9)内用蒸馏水填充2/3容器体积。
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