[发明专利]一种适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置

权利要求书

1.一种适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，其特征在于：包括制冷装置主体、进水管道和出水管道，所述进水管道与所述出水管道分别与所述制冷装置主体连接，便于冷却介质在所述制冷装置主体内循环流通，其中，

所述制冷装置主体设有多个视线孔，所述多个视线孔沿着单晶炉盖至坩埚方向依次设置；以及，

所述单晶炉盖设有观察孔，所述多个视线孔设于所述制冷装置主体与所述观察孔相对侧，便于观察单晶的生长。

2.根据权利要求1所述的适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，其特征在于：

沿着所述多个视线孔设置的方向，第一个所述视线孔的长度在所述观察孔的视线方向上的投影覆盖所述单晶生长的固液界面距所述观察孔最远的生长点，便于通过所述第一个视线孔观测所述单晶生长的固液界面距所述观察孔最远的生长点生长；以及

末端最后一个视线孔的长度在所述观察孔的视线方向上的投影覆盖所述单晶生长的固液界面距所述观察孔最近的生长点，便于通过所述末端最后一个视线孔观测所述单晶生长的固液界面距所述观察孔最近的生长点生长。

3.根据权利要求2所述的适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，其特征在于：沿着所述多个视线孔设置的方向，首个所述视线孔、所述单晶的固液界面距所述观察孔最远生长点与所述单晶炉盖的观察孔呈直线设置，便于观察单晶的固液界面距所述观察孔最远生长点的生长；以及

末个所述视线孔、所述单晶的固液界面距所述观察孔最近生长点与所述单晶炉盖的观察孔呈直线设置，便于观察单晶的固液界面距所述观察孔最近生长点的生长。

4.根据权利要求1-3任一项所述的适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，其特征在于：所述制冷装置主体的垂直长度为800-1200mm。

5.根据权利要求4所述的适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，其特征在于：所述制冷装置主体为圆柱结构，所述制冷装置主体的内径大于所述单晶的直径。

6.根据权利要求5所述的适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，其特征在于：所述制冷装置主体的内径与所述单晶的直径之差为40-80mm。

7.根据权利要求5或6所述的适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，其特征在于：所述制冷装置主体为内部有空腔的水冷内导。

8.根据权利要求7所述的适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，其特征在于：所述制冷装置主体的末端与硅溶液的液面距离不大于70mm。