[发明专利]一种显示面板及其制备方法

说明书

本发明提供一种显示面板及其制备方法，显示面板包括基板、设置于基板上的缓冲层、设置于所述缓冲层上的有源层、设置于缓冲层上的层间介质层、层叠设置于层间介质层上的钝化层和平坦层、层叠设置于平坦层上的阳极金属层、发光层和阴极金属层；其中，有源层包括导电且透明的第一极板，第一极板上设置有介电层，介电层上设置有第二极板，第二极板以及所述介电层的制成材料均为透明导电材料。第一极板、第二极板以及介电层均采用透明材料制成，从而使存储电容本身变得透明，可以广泛应用于透明显示领域中。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板及其制备方法。

背景技术

目前Oxide TFT(氧化物薄膜晶体管)行业中，如图1所示，在显示面板中，由IGZO(indium gallium zinc oxide，铟镓锌氧化物)制成的半导体层11的部分被导体化，存储电容是由挡光层12、第一金属导电层13和第二金属导电层14构成的。

然而，由于挡光层12、第一金属导电层13和第二金属导电层14的透光性较差，不能应用于透明显示领域中。

发明内容

本发明提供一种显示面板，以解决由于构成存储电容的极板的透光性较差，不能应用于透明显示领域中的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

一种显示面板，其包括：

基板；

设置于所述基板上的缓冲层；

设置于所述缓冲层上的有源层；

层叠设置于所述有源层上的栅极绝缘层以及栅极金属层；

设置于所述缓冲层上且覆盖所述栅极金属层的层间介质层；

设置于所述层间介质层上的第二金属层；

层叠设置于所述层间介质层上的钝化层和平坦层；

层叠设置于所述平坦层上的阳极金属层、发光层和阴极金属层；

其中，所述有源层包括导电且透明的第一极板，所述第一极板上设置有介电层，所述介电层上设置有第二极板，所述第二极板以及所述介电层的制成材料均为透明导电材料。

进一步的，所述第二极板的制成材料为铟锡氧化物。

进一步的，所述平坦层上设置有延伸至第一极板处的开孔，所述第二极板位于所述开孔中。

进一步的，所述有源层还包括与所述第一极板相互独立的有源岛，所述有源岛包括导体层以及与所述栅极绝缘层对应并接触的半导体层，所述导体层上设置有保护层，所述第二金属层包括源漏金属层，所述源漏金属层穿过所述保护层与所述导体层接触连接。

进一步的，所述栅极金属层上也设置有覆盖所述栅极金属层的保护层。

进一步的，所述保护层和所述介电层的制成材料均为三氧化二铝。

本发明还提供一种显示面板的制备方法，包括以下步骤：

S10、在基板上形成缓冲层；

S20、利用铟镓锌氧化物在所述缓冲层上形成图案化的有源层，所述有源层包括有源岛和与所述有源岛相互独立的第一极板；

S30、在所述有源岛上依次层叠形成栅极绝缘层和栅极金属层；

S40、对有源岛露出所述栅极绝缘层的部分进行导体化，形成导体层，同时对所述第一极板进行导体化，并形成覆盖所述导体层的保护层以及覆盖所述第一极板的介电层；

S50、形成覆盖所述有源层以及所述栅极金属层的层间介质层；