[发明专利]一种多焦点激光清洗装置及使用方法

权利要求书

1.一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：包括激光光源（1）、激光束（2）、振镜光路系统（3）、光束整形系统（4）、工作台（5）和待清洗试验板（7），所述待清洗试验班（7）放置于工作台（5）上，实现激光路径扫描的振镜光路系统（3）和实现光斑的串联排列的光束整形系统（4）设置于工作台（5）的正上方，激光光源（1）设置于振镜光路系统（3）的一侧，激光光源（1）发射出激光束（2），所述振镜光路系统（3）包括振镜和扫描驱动系统，所述光束整形系统（4）包括激光扩束模块、激光聚焦模块和多焦点衍射光学元件。

2.根据权利要求1所述的一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：所述激光光源（1）采用飞秒激光发射器，通过支撑架固定于工作台（5）上方，其中飞秒激光发射器使用的脉冲宽度为400fs-700fs。

3.根据权利要求1所述的一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：所述激光束（2）是由激光光源（1）发射出的1064nm波长的激光束。

4.根据权利要求1所述的一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：所述工作台（5）采用两维位移工作台，用于承载和移动待清洗试验板（7）。

5.根据权利要求1所述的一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：所述振镜光路系统（3）还包括Y轴方向电机（31），X轴方向电机（32），聚焦透镜（33），可移动透镜（34），所述激光束（2）穿过可移动透镜（34）到达聚焦透镜（33），在X轴方向电机（32）和Y轴方向电机（31）控制下进行激光位置的调整。

6.根据权利要求1-4任一所述的一种多焦点激光清洗装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤:

步骤一、激光光源参数设置，包括激光光源功率和脉冲宽度；

步骤二、激光光源开始工作，发射脉冲激光，激光束透过振镜扫描系统，到达光束整形系统；

步骤三、调整激光束，使得经过光束整形后的激光束焦点串联排列，即焦点排成一排，到达待清洗零件表面；

步骤四、启动激光清洗工作，观察待清洗零件表面状态。

7.根据权利要求6所述的一种多焦点激光清洗装置的使用方法，其特征在于，所述的步骤三中，在放置待清洗零件前使用白色纸板进行调试，观察光斑在白色纸板上的排列情况，根据工况调节激光束聚焦点距离白色纸板高度，根据高低判断，使位于最低位置光斑到达白色纸板，调试结束后取下白色纸板，放置待清洗零件在工作台上。