[发明专利]电阻整合式气体传感器

权利要求书

1.一种电阻整合式气体传感器，其特征在于，包括：

基板；

第一金属氧化物层，配置于所述基板中；且所述第一金属氧化物层为内电阻；

第一绝缘层，配置于所述基板及所述第一金属氧化物层上；

接触金属层，配置于所述第一绝缘层中；

第一接触空穴，配置于所述第一绝缘层中，且位于所述接触金属层上；

第二金属氧化物层，配置于所述第一绝缘层上；以及

指叉状电极层，具有第一部分及第二部分，所述第一部分配置于所述第一绝缘层上，所述第二部分配置于所述第二金属氧化物层中，

其中所述接触金属层及所述第一接触空穴连接所述第一金属氧化物层与所述指叉状电极层。

2.根据权利要求1所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：还包括配置于所述第一绝缘层与所述指叉状电极层之间的第二绝缘层，第二接触空穴及金属加热层配置于所述第二绝缘层中，且所述第二接触空穴位于所述金属加热层上，所述金属加热层及所述第二接触空穴连接所述第一接触空穴与所述指叉状电极层。

3.根据权利要求1所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：所述第一金属氧化物层为蛇状结构。

4.根据权利要求3所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：还包括配置于所述第一绝缘层与所述指叉状电极层之间的第二绝缘层，第二接触空穴及金属加热层配置于所述第二绝缘层中，且所述第二接触空穴位于所述金属加热层上，所述金属加热层及所述第二接触空穴连接所述第一接触空穴与所述指叉状电极层。

5.根据权利要求1所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：所述第一金属氧化物层为倒三角结构。

6.根据权利要求5所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：还包括配置于所述第一绝缘层与所述指叉状电极层之间的第二绝缘层，第二接触空穴及金属加热层配置于所述第二绝缘层中，且所述第二接触空穴位于所述金属加热层上，所述金属加热层及所述第二接触空穴连接所述第一接触空穴与所述指叉状电极层。

7.根据权利要求1所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：所述第一金属氧化物层及所述第二金属氧化物层的材料相同。

8.根据权利要求7所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：所述第一金属氧化物层及所述第二金属氧化物层的材料包括氧化锌、氧化钼、氧化铝、氧化钛、氧化锡、氧化钨或其掺杂物。

9.根据权利要求1所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：形成所述第二金属氧化物层的方法包括3D打印工艺。

10.根据权利要求1所述的电阻整合式气体传感器，其特征在于：所述基板经刻蚀以具有凹槽，所述凹槽用以配置所述第一金属氧化物层，刻蚀深度为10纳米至10微米。