[发明专利]一种基于圆弧形固支梁的微波功率传感器在审
| 申请号： | 201910870919.9 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110579643A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李龙飞;蒋燕;王德波 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01R21/00 | 分类号： | G01R21/00;G01R1/04 |
| 代理公司： | 32243 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张玉红 |
| 地址： | 210003 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固支梁 圆弧形 地线 共面波导传输线 电容极板 传感器 衬底 锚区 微波信号 上端面 微波功率传感器 测量变化 电容变化 检测电容 平面加工 左右两侧 灵敏度 输出端 体积小 | ||
【权利要求书】：
1.基于圆弧形固支梁的微波功率传感器，其特征在于，包括衬底(6)，所述衬底(6)位于最下方，衬底(6)上端面左右两侧各设有地线(1)，两侧地线(1)的上端面中部各设有一个锚区(3)，圆弧形固支梁(5)通过两侧锚区(3)跨接固定在两侧地线(1)中间，共面波导传输线(2)位于衬底(6)上并设于圆弧形固支梁(5)的下方，电容极板(4)位于衬底(6)上并设于共面波导传输线(2)与一侧地线(1)之间且位于圆弧形固支梁(5)正下方。
2.根据权利要求1所述的基于圆弧形固支梁的微波功率传感器，其特征在于，所述每个地线(1)靠近共面波导传输线(2)的一侧设有一个梯形凹槽。
3.根据权利要求1所述的基于圆弧形固支梁的微波功率传感器，其特征在于，所述地线(1)、共面波导传输线(2)、锚区(3)及电容极板(4)的长直边相互平行。
4.根据权利要求1所述的基于圆弧形固支梁的微波功率传感器，其特征在于，圆弧形固支梁(5)与共面波导传输线(2)相互垂直，圆弧形固支梁(5)的中心与共面波导传输线(2)的中心重合。
5.根据权利要求1所述的基于圆弧形固支梁的微波功率传感器，其特征在于，所述衬底(6)的材质为氮化镓。
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