[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有：多个卡盘，其用于保持基板；以及至少1个加工轴；所述加工轴包括：加工部，其对所述基板进行加工；主轴，其使所述加工部旋转；主轴马达，其驱动所述主轴，主轴壳体，其容纳所述主轴及所述主轴马达；以及升降机构，其使所述主轴壳体升降；所述加工装置的特征在于，还具有：

冷却流体通路，其包括：设于所述主轴壳体中的冷却流体工作通路、向所述冷却流体工作通路供给冷却流体的冷却流体供给通路以及自所述冷却流体工作通路排出冷却流体的冷却流体排出通路；以及

流量检测器，其设于所述冷却流体通路用于检测冷却流体的流量；在利用所述流量检测器检测到的所述冷却流体的流量在规定值以下时，所述主轴马达的旋转停止，从而使所述主轴的旋转停止。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于：

在利用所述流量检测器检测到的所述冷却流体的流量在规定值以下时，升降机构上升，从而使所述加工部远离所述基板。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述加工轴形成有多个，所述流量检测器设于各所述加工轴的所述冷却流体供给通路或所述冷却流体排出通路。

4.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述加工轴形成有多个，所述加工装置还具有用于冷却所述冷却流体的冷却器和与该冷却器连通的供给总管，被冷却器冷却的所述冷却流体在所述供给总管的供给分支部分支而流向各所述加工轴的冷却流体供给通路。

5.根据权利要求4所述的加工装置，其特征在于：

所述加工装置还具有回收总管，自各所述加工轴的所述冷却流体排出通路排出的所述冷却流体在所述回收总管的回收分支部汇集并经由所述回收总管返回至所述冷却器。

6.根据权利要求5所述的加工装置，其特征在于：

所述流量检测器设于所述供给总管或所述回收总管。

7.根据权利要求6所述的加工装置，其特征在于：

在利用所述流量检测器检测到的冷却流体的流量在规定值以下时，停止所有的所述主轴马达的旋转，从而使所有的所述主轴的旋转停止。

8.根据权利要求7所述的加工装置，其特征在于：

在利用所述流量检测器检测到的冷却流体的流量在规定值以下时，使所有的所述升降机构上升，从而使所有的所述加工部远离所述基板。

9.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述加工装置还具有控制部，所述控制部基于自所述流量检测器输入的流量信号控制所述主轴马达的旋转和/或所述升降机构的升降。

10.根据权利要求4所述的加工装置，其特征在于：

所述加工装置还具有冷却流体补充部，该冷却流体补充部向所述冷却器补充所述冷却流体。