[发明专利]石英厚壁管二次成型装置及成型方法

权利要求书

1.一种石英厚壁管二次成型装置，包括炉体和牵引机构，其特征在于，所述炉体包括炉壳、上端盖、下底板、感应加热线圈、上感应加热件、中心杆、下部保温件和成型台；所述炉壳内具有贯穿所述炉体的炉腔，所述上端盖和下底板分别设于炉壳的上下两端，上端盖上开设有定位槽和氮气孔，下底板上设有下料口和氮气孔；

感应加热线圈设于炉壳内，上感应加热件为中空柱形结构件，其设于所述炉腔内，并悬挂于与炉壳上壁；所述中心杆位于所述炉腔内，其通过所述定位槽定位，中心杆中设有通孔以通入氮气；所述上感应加热件与中心杆之间形成用于放置待成型石英件的空腔；上感应加热件的下端连接有成型台，所述成型台具有锥形缩口，成型台的下端设有下部保温件；所述牵引机构设于所述下料口处，用于成型坯体的牵引移出，利用牵引机构的顶端将下料口封住；所述中心杆的下端形成为锥形口，所述上感应加热件与成型台之间采用可拆装式连接。

2. 如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述上感应加热件的内径为150～250 mm。

3.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述中心杆的外径为15～85mm。

4.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述成型台出口的内径为70～160mm。

5.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述下部保温件的高度为250～500mm。

6.一种石英厚壁管二次成型方法，其特征在于，所述成型方法使用如权利要求1-5任一项所述的二次成型装置，并包括以下步骤：

S1、将超公差的石英厚壁管端面切平并清洗干净，保证其有效长度大于200 mm；

S2、将经步骤S1处理的石英厚壁管悬挂静放至炉腔内感应加热区，然后通过上盖板和下底板上的氮气孔及中心杆的内部通孔向炉腔内通入氮气，以将空气置换出去，直至下料口检测不到氧气；上盖板和下底板上氮气孔的氮气流量为5～15 L/min，中心杆内部通孔的氮气流量为3～8L/min；

S3、利用牵引机构的顶端将下料口封住；

S4、开始预加热，预加热速度为20～45℃/min，加热至500℃～850℃，保温30～45min；

S5、继续加热至1500℃～1800℃，加热速度为50～70℃/min，保温30～60min；

S6、再继续加热至2100～2300℃，加热速度为60～80℃/min，观察下料口，直至材料流出承接至牵引机构；

S7、利用牵引机构牵引石英厚壁管坯体从出料口下移，出料速度为10～70mm/min；

S8、在此期间不断的观察出料情况，根据材料的粗细调整加热的温度。

7.如权利要求6所述的石英厚壁管二次成型方法，其特征在于，步骤S2中，采用单段石英厚壁管上料或多段石英厚壁管组合上料。