[发明专利]利用低损耗装料检测的解冻设备及其操作方法

权利要求书

1.一种使用RF能量解冻装料的系统，其特征在于，包括：

RF信号源，所述RF信号源被配置成供应RF信号；

电极，所述电极耦合到所述RF信号源；

传输路径，所述传输路径在所述RF信号源与所述电极之间，其中所述传输路径被配置成将所述RF信号从所述RF信号源传送到所述电极以使所述电极将RF电磁能辐射到腔室中；

功率检测电路系统，所述功率检测电路系统耦合到所述传输路径并且被配置成反复地测量RF功率值，所述RF功率值包括沿着所述传输路径的前向RF功率值和反射RF功率值中的至少一个功率值；以及

控制器，所述控制器被配置成：

基于所述RF功率值的改变速率而确定所述腔室中的装料为低损耗装料，并且

使所述RF信号源供应具有一个或多个所要信号参数的所述RF信号；

其中所述系统进一步包括耦合到所述电极的可变阻抗网络，所述可变阻抗网络具有多个配置；

所述控制器被配置成通过以下操作来确定所述装料为所述低损耗装料：

测量多个RF功率值，其中所述多个RF功率值中的每一个RF功率值与所述可变阻抗网络的不同配置相关联；

对于所述多个RF功率值中的每一个RF功率值，确定与所述RF功率值相关联的点分数；以及

使用每个RF功率值的所述点分数来确定总点分数；以及确定所述总点分数小于阈值点分数。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述可变阻抗网络包括具有至少一个分量配置的至少一个可变组件，其中所述至少一个可变阻抗网络耦合在所述RF信号源与所述电极之间。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述控制器被配置成通过以下操作来确定所述装料为所述低损耗装料：

测量多个RF功率值，其中所述多个RF功率值中的每一个RF功率值与所述至少一个可变组件的不同分量配置相关联；以及

确定所述多个RF功率值中大于第一功率值阈值的RF功率值的第一数目。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述控制器被配置成通过确定RF功率值的所述第一数目小于RF功率值的第二阈值数目来确定所述装料为所述低损耗装料。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器被配置成通过以下操作来确定所述装料为所述低损耗装料：

测量多个RF功率值，其中所述多个RF功率值中的每一个RF功率值与所述至少一个可变组件的分量配置相关联；

确定所述多个RF功率值的改变速率；以及

比较所述多个RF功率值的所述改变速率与改变速率阈值。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述装料在所述RF信号的频率下具有小于0.01的损耗角正切。

7.一种热增加系统，其特征在于，包括：

RF信号源，所述RF信号源被配置成将RF信号供应到电极以使所述电极辐射RF电磁能；

功率检测电路系统，所述功率检测电路系统被配置成反复地测量所述RF电磁能的RF功率值以产生多个RF功率值；以及

控制器，所述控制器被配置成基于所述多个RF功率值的改变速率而确定接近于所述电极的装料为低损耗装料，并且响应于确定所述装料为所述低损耗装料而确定所述RF信号的一个或多个信号参数；

其中所述系统进一步包括耦合到所述电极的可变阻抗网络，所述可变阻抗网络具有多个配置；

所述控制器被配置成通过以下操作来确定所述装料为所述低损耗装料：

测量多个RF功率值，其中所述多个RF功率值中的每一个RF功率值与所述可变阻抗网络的不同配置相关联；

对于所述多个RF功率值中的每一个RF功率值，确定与所述RF功率值相关联的点分数；以及

使用每个RF功率值的所述点分数来确定总点分数；以及确定所述总点分数小于阈值点分数。

8.根据权利要求7所述的热增加系统，其特征在于，所述一个或多个信号参数为小于20瓦特的功率值。

9.一种使用RF能量解冻装料的方法，其特征在于，包括：

由RF信号源将一个或多个RF信号供应到电耦合于所述RF信号源与定位成接近于腔室的一个或多个电极之间的传输路径，以使所述一个或多个电极辐射RF电磁能；

由测量电路系统沿着所述传输路径周期性地测量所述RF信号的RF功率值，从而产生多个RF功率值；

由控制器确定所述多个RF功率值的改变速率；

由所述控制器并且基于所述改变速率确定所述腔室中的装料为低损耗装料；以及

响应于确定所述装料为所述低损耗装料，由所述控制器修改RF信号源的操作；

其中确定所述装料为所述低损耗装料包括：

测量多个RF功率值，其中所述多个RF功率值中的每一个RF功率值与可变阻抗网络的不同配置相关联；

对于所述多个RF功率值中的每一个RF功率值，确定与所述RF功率值相关联的点分数；以及

使用每个RF功率值的所述点分数来确定总点分数；以及确定所述总点分数小于阈值点分数。