[发明专利]一种分子级红外干燥系统及具有其的OLED基板清洗机在审
申请号: | 201910874591.8 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN110614260A | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 蒋新;窦福存;陈国才;施利君;田丹女 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 32276 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 项丽 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 盖板 翻转驱动气缸 监测装置 控制器 温感 开口 红外干燥系统 红外加热系统 动力输出端 红外加热管 机械自动化 传动滚轮 方向设置 烘干机器 内部腔体 缩短设备 温度均匀 转动连接 翻盖 出料口 端侧面 分子级 进料口 可开合 控制端 清洗机 可控 平行 支撑 维护 | ||
1.一种分子级红外干燥系统,用于OLED基板清洗机,其特征在于,OLED基板清洗机包括机体,机体设置于支撑用的机架上,机体内沿着平板输送方向设置有多个传动滚轮,所述机体的两侧对应设置有进料口和出料口,其特征在于,所述机体上方为开口,在开口上可开合地设置有盖板,所述盖板内侧相平行地设置有多根红外加热管,其中,所述盖板的后端侧面上连接有翻转驱动气缸,所述翻转驱动气缸固定在机架上,其动力输出端转动连接所述盖板,红外加热系统还包括控制器和温感监测装置,所述温感监测装置设置在所述机体内,所述温感监测装置与控制器相连,所述控制器的控制端与所述翻转驱动气缸连接。
2.根据权利要求1所述的分子级红外干燥系统,其特征在于,在所述盖板的侧面固定有缓冲用的气弹簧,所述气弹簧的一端固定在所述机体的表面,另一端固定连接在所述盖板的侧面上。
3.根据权利要求1所述的分子级红外干燥系统,其特征在于,在所述机体上固定有支撑杆,所述支撑杆的一端可转动地固定在所述机体上,在所述盖板侧面上设置有卡块,盖板打开状态下所述支撑杆的另一端卡设在所述卡块中,用于支撑打开后所述盖板。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的分子级红外干燥系统,其特征在于,所述翻转驱动气缸的底部通过转轴与机架转动连接,所述翻转驱动气缸的动力输出端与所述盖板通过销轴固定。
5.根据权利要求1所述的分子级红外干燥系统,其特征在于,所述温感监测装置包括至少两组温感探头,分别设置于机体前区和机体后区,机体前区为机体内靠近进料口的一侧区域,机体后区为机体内靠近出料口的一侧区域,所述温感监测装置分别检测所述机体前区和所述机体后区的温度并返回检测信号至控制器。
6.根据权利要求5所述的分子级红外干燥系统,其特征在于,所述多根红外加热管相平行地设置于盖板内侧,且红外加热管垂直于进料方向,所述多根红外加热管对应于机体前区和集体后区的位置分为前区加热管和后区加热管,所述控制器根据温感监测装置所返回的检测信号控制所述前区加热管和所述后区加热管的工作。
7.根据权利要求1所述的分子级红外干燥系统,其特征在于,所述机体的底部设置有多个第一抽风口,第一抽风口通过第一抽风管与位于机架底部的第一抽风装置相连。
8.根据权利要求1所述的分子级红外干燥系统,其特征在于,所述盖板上设置有多个第二抽风口,所述第二抽风口通过第二抽风管与第二抽风装置相连。
9.一种OLED基板清洗机,包括用于烘干平板用的红外加热系统,其特征在于,所述红外加热系统采用如权利要求1至8中任一项所述的结构。
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