[发明专利]贴合装置及贴合方法在审
申请号: | 201910875266.3 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN110609644A | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 吴鹏飞 | 申请(专利权)人: | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 51226 成都希盛知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨冬梅;张行知 |
地址: | 611730 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑组件 液态胶水 贴合装置 超声波组件 第二基板 第一基板 贴合 超声波震荡处理 超声波振动 相对设置 压合 去除 扩散 | ||
1.一种贴合装置,其特征在于,包括第一支撑组件和第二支撑组件,所述第一支撑组件和所述第二支撑组件相对设置,并用于压合待贴合的工件,所述工件包括第一基板、第二基板及形成于所述第一基板和所述第二基板之间的液态胶水层,所述第一支撑组件和/或所述第二支撑组件包括超声波组件,所述超声波组件用于对所述液态胶水层进行超声波震荡处理。
2.根据权利要求1所述的贴合装置,其特征在于,所述超声波发射组件包括安装座和若干超声波振子,所述超声波振子均匀排布于所述安装座上。
3.根据权利要求2所述的贴合装置,其特征在于,所述超声波振子的功率为50~200W。
4.根据权利要求2所述的贴合装置,其特征在于,所述超声波振子发射的超声波的传播方向平行于所述工件的厚度方向。
5.根据权利要求1所述的贴合装置,其特征在于,所述第一支撑组件和/或所述第二支撑组件包括吸附板和底座,所述超声波组件设于所述吸附板和所述底座之间。
6.根据权利要求1所述的贴合装置,其特征在于,所述贴合装置还包括壳体和真空泵,所述第一支撑组件和所述第二支撑组件均设于所述壳体内,所述真空泵用于对所述壳体内部进行抽真空处理。
7.一种贴合方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一待贴合的工件,所述工件包括第一基板、第二基板及形成于所述第一基板和所述第二基板之间的液态胶水层;
对所述液态胶水层进行超声波震荡处理。
8.根据权利要求7所述的贴合方法,其特征在于,所述对所述液态胶水层进行超声波震荡处理的步骤还包括:对所述工件进行抽真空处理。
9.根据权利要求7所述的贴合方法,其特征在于,所述对所述液态胶水层进行超声波震荡处理的步骤之后还包括:
对所述液态胶水层进行固化处理。
10.根据权利要求7所述的贴合方法,其特征在于,所述液态胶水层的形成过程包括:
提供第一基板,在所述第一基板的周缘粘接胶条;
在所述第一基板上进行点胶;
提供第二基板,将所述第二基板对准所述第一基板,并粘接于所述胶条上,在所述胶条上开设至少一个排气孔。
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