[发明专利]一种红外气体传感器有效
申请号: | 201910875672.X | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN110687066B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 李铁;刘延祥;王翊;周宏;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01N21/03 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 红外 气体 传感器 | ||
1.一种红外气体传感器,其特征在于,包括探测器(1),所述探测器包括多个传感单元;
所述传感单元包括传感芯片和滤波元件(11),所述传感单元按功能分为第一类传感单元和第二类传感单元;所述第一类传感单元为检测单元,所述第二类传感单元为补偿单元;
所述检测单元的数量为多个,多个所述检测单元的滤波元件(11)的中心波长分别对应待测气体的不同红外特征吸收峰;所述补偿单元的数量为至少一个,至少一个所述补偿单元的滤波元件(11)的中心波长分别对应不同无待测气体吸收的波长;
还包括信号处理模块,所述信号处理模块用于以所述待测气体的测量信号除以所述待测气体对应的参考信号为计算单元进行待测气体的识别,所述待测气体的测量信号为多个所述检测单元对应信号加权求和,所述待测气体对应的参考信号为多个所述补偿单元的信号求和。
2.根据权利要求1所述的红外气体传感器,其特征在于,所述传感芯片为热电芯片或光电芯片;所述滤波元件(11)为光学滤光片或光学天线。
3.根据权利要求1所述的红外气体传感器,其特征在于,所述探测器还包括管壳,所述管壳包括管座和管帽(12),所述滤波元件(11)设于所述管帽(12)上,所述传感芯片设于所述管座上。
4.根据权利要求3所述的红外气体传感器,其特征在于,所述管帽(12)上设有多个安装孔,多个所述第一类传感单元的滤波元件(11)和至少一个所述第二类传感单元的滤波元件(11)分别放置于对应的所述安装孔内。
5.根据权利要求4所述的红外气体传感器,其特征在于,所述探测器(1)还包括热敏电阻,所述热敏电阻设于所述管座上。
6.根据权利要求1所述的红外气体传感器,其特征在于,还包括红外光源(2),所述红外光源(2)为宽谱红外光源,所述宽谱红外光源为白炽灯泡或微结构加工工艺制作的光源。
7.根据权利要求1所述的红外气体传感器,其特征在于,所述待测气体第i吸收峰对应信号vi设置加权因子ωi,所述待测气体第i吸收峰的对应信号为ωi×vi。
8.根据权利要求7所述的红外气体传感器,其特征在于,所述待测气体的测量信号为多个所述检测单元对应信号加权求和∑ωi×vi。
9.根据权利要求1所述的红外气体传感器,其特征在于,所述信号处理模块用于以所述测量信号除以所述参考信号为计算单元进行所述待测气体的浓度计算。
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