[发明专利]真空泵

说明书

本发明提供一种真空泵，能够解决在破坏旋转体时，使对真空泵的凸缘进行紧固的螺栓容易变形的问题。真空泵包括：第一壳体(10、10a)，包括第一凸缘(11、11c)；以及第二壳体(20)，包括第二凸缘(21、21a、21b、21c)，第二壳体(20)经由第一凸缘(11、11c)及第二凸缘(21、21a、21b、21c)与第一壳体(10、10a)连接，且配置于比第一壳体(10、10a)更靠排气口侧的位置；并且第一凸缘(11、11c)包括与螺栓(Bt)的安装位置相对应地形成于表面的第一凹部(310、310c)，第二凸缘(21、21a、21b、21c)包括与螺栓(Bt)的安装位置相对应地形成于表面的第二凹部(320、320a、320b、320c)。

技术领域

本发明涉及一种真空泵。

背景技术

在壳体内收容旋转体的真空泵中，在破坏旋转体时旋转体的碎片有可能与其它部分接触，而引起大的冲击。在涡轮分子泵中，壳体内的旋转体是以每分钟数万转数的高速旋转，所以当旋转体的碎片与壳体发生碰撞时会对壳体产生大的力矩。

为了减少这种破坏旋转体时所产生的力矩，已提出了一种涡轮分子泵(turbomolecular pump)，其具备如下的结构：通过吸气口凸缘的变形来吸收旋转体的能量(参照专利文献1及专利文献2)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第4978489号

[专利文献2]日本专利第5343884号

发明内容

[发明所要解决的问题]

在专利文献1及专利文献2的涡轮分子泵中，是在涡轮分子泵的吸气口凸缘形成凹部，而使对吸气口凸缘进行紧固的螺栓容易变形。但是，吸气口凸缘是通过将螺栓拧入至螺纹孔而紧固，所述螺纹孔设置于真空腔室的凸缘，螺栓之中拧入至真空腔室的螺纹孔的部分难以发生变形，从而难以吸收能量。

[解决问题的技术手段]

本发明的第一形态涉及一种真空泵，其收容转子，所述真空泵包括：第一壳体，包括第一凸缘；以及第二壳体，包括第二凸缘，所述第二壳体经由所述第一凸缘及所述第二凸缘与所述第一壳体连接，且配置于比所述第一壳体更靠排气口侧的位置；并且所述第一凸缘与所述第二凸缘经由螺栓而紧固，所述第一凸缘包括与所述螺栓的安装位置相对应地形成于表面的第一凹部，所述第二凸缘与所述螺栓的安装位置相对应地形成于表面的第二凹部。

[发明的效果]

根据本发明，能够增大破坏旋转体时对真空泵的两个凸缘进行紧固的螺栓的变形量，而容易吸收能量。

附图说明

图1是表示第一实施方式的真空泵的泵本体1的截面图。

图2(A)是表示外侧壳体的第一凸缘的端面的前视图，图2(B)是表示第一凹部的放大前视图。

图3(A)是表示底座壳体的第二凸缘的端面的前视图，图3(B)是表示第二凹部的放大前视图。

图4是示意性地表示螺栓安装部的截面图。

图5是示意性地表示安装有螺栓的螺栓安装部的截面图。

图6是示意性地表示破坏转子时的螺栓的变形的截面图。

图7(A)是表示变形例的底座壳体的第二凸缘的端面的前视图，图7(B)是示意性地表示变形例的螺栓安装部的第二凸缘侧的部分的截面图。

图8是表示变形例中的破坏转子时的狭缝孔的变形的概念图。

图9是表示变形例的第二凹部的前视图。