[发明专利]一种掩膜版及其制备方法

说明书

本发明提供了一种掩膜版及其制备方法，涉及显示技术领域。其中，驱动背板母板包括：背板区域、背板区域之间的过渡区域，及包围背板区域和过渡区域的边缘区域；掩膜版包括：与边缘区域对应的第一区域，及与过渡区域对应的第二区域；第二区域具有至少一个第一半刻子区域，第一半刻子区域的厚度小于第一区域的厚度。本发明中，可在掩膜版与驱动背板母板过渡区域对应的第二区域中，设置至少一个第一半刻子区域，由于第一半刻子区域的厚度，小于掩膜版与驱动背板母板边缘区域对应的第一区域的厚度，因此，可减轻掩膜版中间的重量，如此，可减小掩膜版与驱动背板母板贴合时的下垂量，使得二者能够更紧密地贴合，避免了驱动背板出现多种不良问题。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种掩膜版及其制备方法。

背景技术

如今，OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)驱动背板可以通过OLED G6 Half产线进行制备。

目前，OLED G6 Half产线在生产驱动背板母板时，可以通过蒸镀工艺对驱动背板母板进行制备，在该过程中可以将掩膜版与驱动背板母板进行贴合，从而控制膜层的蒸镀区域。然而，发明人在应用上述技术的过程中发现，在蒸镀过程中，掩膜版与驱动背板母板极易出现贴合不紧的情况，进而会导致制成的驱动背板出现混色不均、像素图形的阴影(shadow)不均等多种不良问题。

发明内容

本发明提供一种掩膜版及其制备方法，以解决现有的掩膜版与驱动背板母板在蒸镀过程中极易贴合不紧，从而导致驱动背板极易出现多种不良的问题。

为了解决上述问题，本发明公开了一种掩膜版，用于通过蒸镀工艺制备驱动背板母板，所述驱动背板母板包括：背板区域、所述背板区域之间的过渡区域，以及包围所述背板区域和所述过渡区域的边缘区域；

所述掩膜版包括：与所述边缘区域对应的第一区域，以及与所述过渡区域对应的第二区域；所述第二区域具有至少一个第一半刻子区域，所述第一半刻子区域的厚度小于所述第一区域的厚度。

可选地，所述背板区域包括：驱动背板，以及所述驱动背板之间的母板间隙；

所述掩膜版还包括：与所述母板间隙对应的第三区域；所述第三区域具有至少一个第二半刻子区域，所述第二半刻子区域的厚度小于所述第一区域的厚度。

可选地，所述掩膜版还包括：与所述驱动背板对应的第四区域；每个所述第一半刻子区域与每个所述第四区域之间的距离均大于1毫米。

可选地，所述第一半刻子区域的厚度与所述第一区域的厚度之间的比值大于或等于20％，且小于或等于50％。

可选地，所述第一半刻子区域的厚度大于或等于20微米，且小于或等于50微米。

可选地，所述掩膜版还包括：与所述驱动背板对应的第四区域；在平行于所述驱动背板的长度方向上至少部分相邻的两个所述第四区域之间设置有所述第二半刻子区域。

可选地，所述掩膜版还包括：与所述驱动背板对应的第四区域；在垂直于所述驱动背板的长度方向上至少部分相邻的两个所述第四区域之间设置有所述第二半刻子区域。

可选地，各个所述第一半刻子区域沿垂直于所述驱动背板的长度方向上并列排布。

可选地，各个所述第一半刻子区域沿平行于所述驱动背板的长度方向上并列排布。

可选地，所述掩膜版还包括：与所述驱动背板对应的第四区域；每个所述第二半刻子区域与每个所述第四区域之间的距离均大于1毫米。

可选地，所述第二半刻子区域的厚度与所述第一区域的厚度之间的比值大于或等于20％，且小于或等于50％。

可选地，所述第二半刻子区域的厚度大于或等于20微米，且小于或等于50微米。