[发明专利]一种晶粒分布稳固的键合银丝材料及其制备方法在审
申请号: | 201910878560.X | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN110699569A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 周钢 | 申请(专利权)人: | 广东佳博电子科技有限公司 |
主分类号: | C22C5/06 | 分类号: | C22C5/06;C22C1/02;C21D9/52;C22F1/14;H01L23/49;H01L21/48;B21C1/02 |
代理公司: | 44493 广州专理知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 谭昉 |
地址: | 510530 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 键合银丝 晶粒形貌 微量元素 机械性能 稳固 化学稳定性 晶粒 材料合成 材料内部 金属合成 金属晶粒 晶粒分布 制备过程 合金丝 键合丝 制备 吻合 优化 | ||
1.一种晶粒分布稳固的键合银丝材料,其特征在于,该材料的组成成分包括银98%±0.2%、铬0.5%±0.04%、金0.5%±0.03%、钪0.45%±0.04%、钯0.45%±0.02%、钙0.01%±0.001%、镧0.01%±0.004%以及铜0.01%±0.001%。
2.由权利要求1所述的键合银丝材料,其特征在于,该材料的组成成分还包括其它微量元素0.001%±0.0001%,微量元素包括铟、铈、钇、硒中的一种或以上。
3.由权利要求1或2所述的键合银丝材料,其特征在于,该材料的内部形成分布均匀且紧密的金属晶粒形貌,晶粒尺寸为2~10 μm。
4.由权利要求1或2所述的键合银丝材料,其特征在于,各组成成分的纯度大于99%。
5.一种晶粒分布稳固的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)预处理:分别将银、铬、金、钪、钯、钙、镧以及铜物质采用氩气清洗之后,磨成粉过筛,之后预热至50~60℃进行真空干燥,同时采用还原碳材料给金属物质进行除氧处理,
2)制备银金铬熔融物:取金属银、金和铬混合放入坩埚中,采用真空熔炼,一开始的熔炼温度升至860~920℃并维持10~30分钟,再升温至975~1030℃并维持10~50分钟,再升温至1750~1830℃并维持20~60分钟,整个过程的升温速度为110~350℃/h,熔解完成即得到银金铬熔融物;
3)制备银钪钯熔融物:取金属银、钪和钯混合放入坩埚中,采用真空熔炼,一开始的熔炼温度升至860~920℃并维持10~30分钟,再升温至1480~1520℃并维持20~60分钟,整个过程的升温速度为200~350℃/h,熔解完成即得到银钪钯熔融物;
4)连铸键合棒材料:取金属钙、镧、铜、剩余的银以及银金铬熔融物和银钪钯熔融物混合放入坩埚中,采用真空熔炼,一开始的熔炼温度升至800~1000℃并维持15~30分钟,再升温至1460~1500℃并维持20~50分钟,整个过程的升温速度为175~225℃/h,熔融之后进行连铸的速度25~50 mm/min,形成键合棒材料;
5)拉丝:将键合棒材料进行拉拔制得细丝,每道次平均变形量为10~15%,形成预定线径的合金线材料;
6)退火:细丝在570~620℃温度条件下退火3~6小时,退火之后的合金丝表面涂覆混合醇进行防氧化处理,之后进行真空干燥即得键合银丝。
6.由权利要求5所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,步骤1)所述的还原碳材料包括一氧化碳以及活性炭。
7.由权利要求5所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,步骤2)至步骤4)所述坩埚为氮化硅坩埚或者碳化硅坩埚。
8.由权利要求5或7所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,所述真空熔炼的真空压力条件为10-2~10-4 Pa。
9.由权利要求5所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,所述步骤2)至步骤6)的操作均置于氢氮气环境中进行,所述氢氮气为氢气和氮气的混合气体,氢气的含量大于3.5%且小于5%。
10.由权利要求5或9所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,步骤5)所述拉丝包括粗拉、中拉、细拉和微细拉,粗拉的目标直径为1~2 mm,中拉的目标直径为0.5~0.8 mm,细拉的目标直径为0.06~0.07 mm,微细拉的目标直径为0.01~0.05 mm。
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