[发明专利]一种高成球性的键合银丝材料及其制备方法有效
申请号: | 201910878587.9 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN110699570B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 周钢 | 申请(专利权)人: | 广东佳博电子科技有限公司 |
主分类号: | C22C5/06 | 分类号: | C22C5/06;C22C1/02;C22F1/14;C22F1/02;H01L23/49;H01L21/48 |
代理公司: | 广州专理知识产权代理事务所(普通合伙) 44493 | 代理人: | 谭昉 |
地址: | 510530 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高成球性 银丝 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种高成球性的的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,所述键合银丝材料的组成成分包括银99%±0.2%、镍0.4%±0.04%、钴0.4%±0.05%、钙0.01%±0.001%、铜0.01%±0.001%、金0.03%±0.004%、钯0.03%±0.004%、镧0.01%±0.001%以及铅0.0025%±0.0005%;该材料的组成成分还包括其它微量元素0.001%±0.0001%,微量元素包括铟、铈、钇、硒中的一种或以上;
包括如下步骤:
1)预处理:分别将各个金属物质磨成粉过筛,之后预热至50~60℃进行真空干燥,同时采用还原碳材料给金属物质进行除氧处理;
2)制备银镍钙熔融物:取金属银、镍和钙混合放入坩埚中,采用真空熔炼,一开始的熔炼温度升至780~810℃并维持10~30分钟,再升温至900~950℃并维持10~50分钟,再升温至1300~1400℃并维持20~60分钟,整个过程的升温速度为110~350℃/h,熔解完成即得到银镍钙熔融物;
3)制备银钯镧熔融物:取金属银、钯和镧混合放入坩埚中,采用真空熔炼,一开始的熔炼温度升至890~910℃并维持10~30分钟,再升温至940~960℃并维持10~50分钟,再升温至1500~1550℃并维持20~60分钟,整个过程的升温速度为90~400℃/h,熔解完成即得到银钯镧熔融物;
4)连铸键合棒材料:取金属钴、铜、金、铅、其它微量元素、剩余的银以及银镍钙熔融物和银钯镧熔融物混合放入坩埚中,采用真空熔炼,一开始的熔炼温度升至1030~1100℃并维持15~30分钟,再升温至1480~1510℃并维持20~50分钟,整个过程的升温速度为90~400℃/h,熔融之后进行连铸的速度25~50 mm/min,形成键合棒材料;
5)拉丝:将键合棒材料进行拉拔制得细丝,每道次平均变形量为10~15%,形成预定线径的合金线材料;
6)退火:细丝在570~620℃温度条件下退火3~6小时,退火之后的合金丝表面涂覆混合醇进行防氧化处理,之后进行真空干燥即得键合银丝;
步骤1)所述的还原碳材料包括一氧化碳以及活性炭;
所述真空熔炼的真空压力条件为10-2~10-4 Pa;
所述步骤2)至步骤6)的操作均置于氢氮气环境中进行,所述氢氮气为氢气和氮气的混合气体,氢气的含量大于3.5%且小于5%。
2.由权利要求1所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,步骤2)至步骤4)所述坩埚为氮化硅坩埚或者碳化硅坩埚。
3.由权利要求1所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,步骤5)所述拉丝包括粗拉、中拉、细拉和微细拉,粗拉的目标直径为1~2 mm,中拉的目标直径为0.5~0.8 mm,细拉的目标直径为0.06~0.07 mm,微细拉的目标直径为0.01~0.05 mm。
4.由权利要求1所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,所述键合银丝材料的各组成成分的粒径为10~15μm。
5.由权利要求1所述的键合银丝材料的制备方法,其特征在于,所述键合银丝材料的各组成成分的纯度大于99%。
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