[发明专利]基板运输装置

说明书

一种基板处理装置，其包括：具有串联连接的臂链路的运输臂，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；至少第一滑轮和第二滑轮，其中，第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及至少一个扭矩传递带，其在第一滑轮和第二滑轮之间纵向地延伸并且被联接至第一滑轮和第二滑轮中的每一个，至少一个扭矩传递带具有针对预定臂链路高度的对应带高度以及可变横向厚度，使得至少一个扭矩传递带包括针对所述对应带高度的具有横向增大的横截面的区段。

背景。

技术领域

示例性实施例大体上涉及机器人运输装置，以及更加具体地涉及机器人驱动传动装置。

相关发展的简要描述

随着半导体基板的尺寸增大，用于运输这些基板的机器人臂的尺寸/长度也增大。机器人臂可以使用金属带来将扭矩和运动从机器人驱动器传输至机器人臂的关节。然而，臂链路的增大的长度也增长了金属带的长度。通常，这些金属带是薄的，以便例如最小化弯曲应力以及维持金属带的功能寿命。如可以实现的，由于金属带是薄的，所以金属带的横截面面积小。该小的横截面面积可以影响带的轴向刚度，这可以导致动态驱动系统的低固有频率，低固有频率能够使伺服/驱动马达难以调谐，尤其是在直接驱动系统中。例如，伺服带宽度可以接近金属带的固有频率，并且能够使其难以调出振动并且可以由于低伺服带宽而导致更低的性能。在非直接驱动系统中，金属带的低固有频率可以导致长的安定时间以及降低的整体吞吐量性能。

将有利的是具有一种驱动系统，在该驱动系统中，采用金属带但无上述性能问题的。

附图说明

结合附图在下面的描述中对本公开的实施例的上述方面和其他特征进行了解释，在附图中：

图1A-1D是并入了本公开的实施例的方面的处理装置的示意图；

图2是并入了本公开的实施例的方面的处理装置的示意图；

图3A、图3B、图3C和图3D是根据本公开的实施例的方面的机器人运输装置的部分的示意图；

图4A和图4B是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；

图5和图5A是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；

图6是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；

图7是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；

图8是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；

图9A-9K是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；以及

图10是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图。

具体实施方式

参照图1A-1D，示出如在本文中进一步公开的并入了本公开的实施例的方面的基板处理装置或设备(tool)的示意图。尽管将参照附图对本公开的实施例的方面进行描述，但应理解，本公开的实施例的方面能够以多种形式体现。此外，可以使用任何适合尺寸、形状或类型的元件或者材料。