[发明专利]光谱仪在审
申请号: | 201910882552.2 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN112611456A | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 巫英坚;林学春;米麟 | 申请(专利权)人: | 深圳市中光工业技术研究院 |
主分类号: | G01J3/42 | 分类号: | G01J3/42;G01J3/02;G01J3/18;G01N21/35 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 唐芳芳 |
地址: | 518055 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光谱仪 | ||
1.一种光谱仪,其特征在于,包括:
发射系统,包括:
控制装置,用于产生与多个待测波段一一对应的多个波长编码数据;
光源,用于发出光源光,所述光源光包括所述多个待测波段的光束,并且不同待测波段的光源光光束之间在空间上相互分离;以及
调制装置,包括包含多个微反射镜的微镜阵列,具有多个调制子区域,每个调制子区域与一待测波段以及一波长编码数据对应,所述多个调制子区域根据对应波长编码数据调制对应待测波段的光源光并得到具有对应波长编码数据信息的第一检测光,从而实现所述调制装置对所述光源光的编码,所述第一检测光沿第一方向传输并照射至待测目标表面;以及
接收系统,用于根据所述待测目标出射的包括反射后的第一检测光的第一目标光的光强随时间变化的关系,以及所述多个波长编码数据,确定接收到的第一目标光包括的各个待测波段的光束,以及待测目标对不同待测波段的光束的吸收特性及/或反射特性。
2.如权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,所述控制装置还用于产生与多个待测波段一一对应的多个校验数据;
所述多个调制子区域还根据对应波长编码数据调制对应待测波段的光源光并得到具有对应校验数据信息的第二检测光,所述第二检测光沿第二方向传输并照射至待测目标表面;以及
所述接收系统还根据所述待测目标出射的包括反射后的第二检测光的第二目标光的光强随时间变化的关系,以及所述多个校验数据,确定接收到的第二目标光包括的各个待测波段的光束,以及所述待测目标对不同待测波段的光束的吸收特性及/或反射特性。
3.根据权利要求2所述的光谱仪,所述波长编码数据为二进制数据,所述校验数据根据对应波长编码数据的各位数据取反得到。
4.如权利要求3所述的光谱仪,其特征在于,每个波长编码数据具有多个数据位,所述调制装置在每个调制子区域中设置有至少一个微反射镜,每个调制子区域中的至少部分调制单元依序根据对应波长编码数据的每个数据位的数值控制出射对应待测波段的第一检测光和第二检测光的比例。
5.如权利要求4所述的光谱仪,其特征在于,所述调制单元为具有多个稳态的微反射镜,所述微反射镜处于不同稳态时出射的对应待测波段的第一检测光的比例不同,并且所述微反射镜处于不同稳态时出射的对应待测波段的第二检测光的比例不同,每个调制子区域中的微反射镜依序根据对应波长编码数据中的每个数据位的数值处于对应稳态。
6.如权利要求5所述的光谱仪,其特征在于,所述微反射镜具有第一稳态与第二稳态,
所述微反射镜处于所述第一稳态时,所述微反射镜出射的第一检测光的比例为100%,所述微反射镜出射的第二检测光的比例为0%;
所述微反射镜处于所述第二稳态时,所述微反射镜出射的第一检测光的比例为0%,所述微反射镜出射的第二检测光的比例为100%。
7.如权利要求6所述的光谱仪,其特征在于,所述接收系统包括第一接收子系统与第二接收子系统,所述第一接收子系统用于接收所述第一目标光并根据所述波长编码数据对所述第一目标光进行解码,所述第二接收子系统用于接收所述第二目标光并根据所述校验数据对所述第二目标光进行解码。
8.如权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,所述光源光中包括N条待测波段的光束,所述控制装置针对每次待测目标的检测产生一时序编码数据,所述调制装置根据所述时序编码数据调制所述光源光的时间段为调制周期,所述调制周期包括N个调制时段,所述调制装置用于在不同调制时段中利用波长编码数据中的不同数据位中的数据调制对应待测波段的光束。
9.如权利要求8所述的光谱仪,其特征在于,每个调制周期包括与多个待测波段一一对应多个调制时段,在每个调制周期中,所述调制装置在不同调制时段出射不同待测波段的调制子光束作为第一检测光出射。
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