[发明专利]非挥发性存储器单元以及非挥发性存储器阵列有效
申请号: | 201910885110.3 | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN110931068B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 许家荣 | 申请(专利权)人: | 力旺电子股份有限公司 |
主分类号: | G11C16/04 | 分类号: | G11C16/04;G11C16/10;G11C16/14;G11C16/26;H01L27/11524 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 挥发性 存储器 单元 以及 阵列 | ||
1.一种非挥发性存储器单元,其特征在于,包括:
浮动栅晶体管,位于P型阱区,包括栅极端、漏极端以及源极端,其中上述栅极端耦接至浮动栅极,上述漏极端耦接至位线,上述源极端耦接至第一节点,其中上述浮动栅极由第一多晶硅层所形成;
选择晶体管,位于上述P型阱区,包括栅极端、漏极端以及源极端,其中上述栅极端耦接至选择栅极,上述漏极端耦接至上述第一节点,上述源极端耦接至源极线,其中上述选择栅极耦接至字符线,其中上述浮动栅晶体管以及上述选择晶体管为N型晶体管;
耦合结构,由将上述第一多晶硅层延伸而与控制栅极相重叠而形成,其中上述控制栅极为N型阱区内的P型掺杂区,其中上述控制栅极耦接至控制线,其中上述P型阱区与上述N型阱区相互分离,且上述P型阱区以及上述N型阱区位于基板,其中上述基板为P型基板、N型基板以及深N阱区的任一者;
第一耦合结构,由第三多晶硅层所形成,且靠近上述第一多晶硅层;以及
第二耦合结构,由金属层覆盖上述浮动栅极所形成。
2.如权利要求1所述的非挥发性存储器单元,其中上述选择栅极由第二多晶硅层所形成,上述选择晶体管由上述第二多晶硅层与第一N型掺杂区以及第二N型掺杂区重叠所形成,其中上述第一N型掺杂区以及上述第二N型掺杂区位于上述P型阱区。
3.如权利要求2所述的非挥发性存储器单元,其中上述第一多晶硅层包括第一部分以及第二部分,上述浮动栅晶体管由上述第一部分与上述第二N型掺杂区以及第三N型掺杂区相重叠所形成,其中上述第三N型掺杂区位于上述P型阱区之内。
4.如权利要求3所述的非挥发性存储器单元,其中上述第二部分自上述P型阱区延伸至上述N型阱区,其中上述第二部分包括第一重叠区域,上述第一重叠区域与上述P型掺杂区相重叠,其中上述第一重叠区域具有第一重叠宽度,上述P型掺杂区具有第一宽度。
5.如权利要求4所述的非挥发性存储器单元,其中上述第一重叠宽度等于或小于上述第一宽度。
6.如权利要求4所述的非挥发性存储器单元,还包括:
N型掺杂区,形成于上述N型阱区,其中上述第二部分还包括第二重叠区域,上述第二重叠区域具有第二重叠宽度,上述N型掺杂区具有第二宽度,其中上述第二重叠宽度等于上述第二宽度。
7.如权利要求6所述的非挥发性存储器单元,其中当上述非挥发性存储器单元操作于抹除模式,第三正电压施加至上述N型阱区,第四正电压施加至上述控制线,而上述字符线、上述源极线、上述位线以及上述P型阱区耦接至接地端,使得上述浮动栅极的电子通过N型掺杂区而排除至N型阱区,其中上述第三正电压超过一击穿电压,上述第四正电压小于上述击穿电压,上述第三正电压以及上述第四正电压之差小于上述击穿电压。
8.如权利要求1所述的非挥发性存储器单元,其中当上述非挥发性存储器单元操作于读取模式,第一正电压施加至上述字符线、上述位线、上述控制线以及上述N型阱区,而上述P型阱区以及上述源极线耦接至接地端。
9.如权利要求8所述的非挥发性存储器单元,其中当上述非挥发性存储器单元操作于编程模式,上述N型阱区以及上述P型阱区耦接至上述接地端,第二正电压施加至上述字符线、上述源极线以及上述位线,第一负电压施加至上述控制线,使得电子由上述控制线被注入至上述浮动栅极,其中上述第二正电压以及上述第一负电压的绝对值小于击穿电压,且超过上述第一正电压。
10.如权利要求9所述的非挥发性存储器单元,其中当上述非挥发性存储器单元操作于抹除模式时,第三正电压施加至上述控制线以及上述N型阱区,而上述字符线、上述源极线、上述位线以及上述P型阱区耦接至接地端,使得上述浮动栅极的电子被排除至上述控制线,其中上述第三正电压超过上述击穿电压。
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