[发明专利]一种Cs3 有效
申请号: | 201910885570.6 | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN110611014B | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 唐孝生;曾凡菊;胡伟;张孟;叶怀宇;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人: | 彭随丽 |
地址: | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cs base sub | ||
1.一种Cs3Cu2I5薄膜的制备方法,其特征在于:采用差速旋涂法将Cs3Cu2I5前驱体溶液涂覆于ITO玻璃,并在旋涂的最后5秒内滴加反溶剂;所述差速为先慢速后快速;所述反溶剂为与所述Cs3Cu2I5前驱体溶液体积比为5:3-2的乙酸甲酯,以形成均匀致密的薄膜,旋涂后的ITO玻璃在50-60℃下退火0.5-1h;
所述Cs3Cu2I5前驱体溶液制备方法为将CsI与CuI溶解于DMF与DMSO的混合溶液;
所述溶解方式为50-70℃加热搅拌0.5-1.2h;
所述CsI、CuI、DMF和DMSO的质量体积比为2g:1g:3-3.5ml:0.85-1.0ml;
所述差速旋涂具体步骤为:
1)将所述Cs3Cu2I5前驱体溶液滴加于ITO玻璃中心位置;
2)于ITO玻璃中心,800-1200r/min转速下,慢速旋涂Cs3Cu2I5前驱体溶液10-20s;
3)于ITO玻璃中心,3000-5000r/min转速下,快速旋涂Cs3Cu2I5前驱体溶液20-40s;
4)在步骤3)的快速旋涂最后5秒内,在ITO玻璃中心快速滴加乙酸甲酯以获得混合溶液;
对于混合溶液,混合溶液的总蒸气压等于混合溶液中各个分溶剂的蒸气压之和,总沸点低于混合溶液中沸点最低的溶剂;
5)将步骤4)中制得的ITO玻璃置于50-60℃下加热0.5-1h,冷却制得Cs3Cu2I5薄膜。
2.如权利要求1所述的Cs3Cu2I5薄膜的制备方法,其特征在于:将所述ITO玻璃依次用洗洁精,去离子水,丙酮,酒精以及异丙醇超声和进行UV臭氧处理。
3.如权利要求2所述的Cs3Cu2I5薄膜的制备方法,其特征在于:所述超声时间为25-35min;所述UV臭氧处理时间为25-35min。
4.一种Cs3Cu2I5薄膜,该薄膜采用如权利要求1-3任一所述的方法制备,其特征在于:所述薄膜用于深紫外光电探测器。
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