[发明专利]空间光束绝对位置测量装置及校准方法在审
申请号: | 201910886321.9 | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN110617787A | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 沙巍;李钰鹏;王智;方超;赵亚;王少鑫;齐克奇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00 |
代理公司: | 22214 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王丹阳 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半反半透镜 四象限探测器 透镜组 绝对位置测量 反射镜组件 基板 两组 精密测量领域 反射镜设置 全局坐标系 精密测量 绝对位置 空间光束 空间光学 直接测量 校准 装调 | ||
1.空间光束绝对位置测量装置及校准方法,其特征在于,包括光束绝对位置测量机构;
所述光束绝对位置测量机构包括基板(5)、透镜组(2)、半反半透镜组件(4)以及两组反射镜组件(1)、第一四象限探测器(3)以及第二四象限探测器(6);
所述透镜组(2)、半反半透镜组件(4)以及反射镜组件(1)分别固定在基板(5)上,所述透镜组(2)放置在基板(5)的最前端,所述半反半透镜固定在透镜组(2)后,所述第一四象限探测器(3)放置在半反半透镜组件(4)上方,两组所述反射镜设置在半反半透镜组件(4)的后方,所述第二四象限探测器(6)放置在反射镜组件(1)后侧一端。
2.根据权利要求1所述的空间光束绝对位置测量装置及校准方法,其特征在于,所述反射镜组件(1)包括支撑座(1-1),反射镜(1-3)以及压圈(1-2);
所述支撑座(1-1)的底部与基板(5)螺旋连接,反射镜(1-3)放置在支撑座(1-1)内,所述压圈(1-2)设置在支撑座(1-1)的内部进行限位。
3.根据权利要求1所述的空间光束绝对位置测量装置及校准方法,其特征在于,所述透镜组(2)包括凸透镜(2-1)、凸透镜镜框(2-2)、隔圈(2-3)、透镜组座(2-4)、凹透镜(2-5)以及凹透镜镜框(2-6);
凸透镜2-1及凹透镜(2-5)分别固定在对应的凸透镜镜框(2-2)以及凹透镜镜框(2-6)中,凸透镜(2-1)与凹透镜(2-5)的轴向位置精度通过隔圈(2-3)来固定,透镜组座(2-4)通过多个螺钉与基板(5)连接固定。
4.根据权利要求1、2或3所述的测量装置上的校准方法,其特征在于,所述校准方法包括以下步骤:
步骤一:采用一束稳定的外部准直光作为校准光束,并在铟钢基板上建立起该装置的参考坐标系。
步骤二:将该光束测量装置绕校准光束旋转并移动,记录参考坐标系原点位置。拟合出校准光束在全局坐标系下的位置。
步骤三:通过坐标变换,将光束变换到参考坐标系下,由此找到光束在参考坐标系下的位置参数。
5.根据权利要求1或2所述的空间光束绝对位置测量装置及校准方法,其特征在于,所述基板(5)材质为铟钢。
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