[发明专利]一种化学气相沉积行星托盘装置及进气方法

权利要求书

1.一种化学气相沉积行星托盘装置，包括一基盘、一传动盘和多个与所述传动盘啮合的行星盘，所述传动盘和行星盘间隙设置于所述基盘的腔体内，其特征在于，所述腔体底部设有一开口，所述开口内设有一传动连接组件，所述传动连接组件一端与所述传动盘传动连接，所述传动连接组件另一端与所述基盘传动连接，所述基盘或所述传动连接组件由一驱动机构带动旋转，进而带动所述传动盘转动，所述传动连接组件底部设有一供辅助气体进入的支撑进气组件，所述支撑进气组件通过所述传动连接组件上的多个进气孔与所述开口连通。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积行星托盘装置，其特征在于，所述传动连接组件包括一上齿轮、一转轴和一下齿轮，所述上齿轮与所述下齿轮之间通过所述转轴固定连接，所述上齿轮与所述传动盘的内齿啮合，所述下齿轮与所述基盘的内齿啮合。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积行星托盘装置，其特征在于，所述下齿轮底部设有一多边形状的安装槽，所述安装槽底部设有一环形的连接槽，多个所述进气孔位于所述连接槽底部。

4.根据权利要求2所述的化学气相沉积行星托盘装置，其特征在于，所述支撑进气组件包括一石英管和一石墨管，所述石墨管套设于所述石英管外并安装于所述安装槽上，所述石英管通过所述连接槽与多个所述进气孔连通。

5.根据权利要求2或3所述的化学气相沉积行星托盘装置，其特征在于，所述下齿轮上设有一斜槽，所述斜槽外侧壁部分倾斜，所述斜槽与多个所述进气孔连通。

6.根据权利要求2所述的化学气相沉积行星托盘装置，其特征在于，所述驱动机构包括一驱动电机和一驱动齿轮组，所述驱动电机通过所述驱动齿轮组驱动所述基盘或所述下齿轮旋转。

7.根据权利要求6所述的化学气相沉积行星托盘装置，其特征在于，所述驱动齿轮组一端套设于所述基盘外，所述驱动齿轮组另一端套设于所述驱动电机的驱动轴上，所述驱动电机通过驱动齿轮组驱动所述基盘转动。

8.根据权利要求6所述的化学气相沉积行星托盘装置，其特征在于，所述下齿轮下端延伸至所述基盘外，所述下齿轮的延伸端设有驱动轮齿并与一个或多个啮合的齿轮啮合组成所述驱动齿轮组，所述驱动电机通过驱动所述驱动齿轮组使所述下齿轮旋转。

9.根据权利要求1-8任一项所述的化学气相沉积行星托盘装置的进气方法，其特征在于，包括如下步骤：

辅助气体自所述支撑进气组件进入，通过多个所述进气孔进入所述开口内，所述开口内的辅助气体水平转向扩散后进入所述传动盘与所述基盘之间的间隙内，部分辅助气体自所述传动盘的齿槽处进入反应室内，另一部分辅助气体经过所述行星盘底部并从所述行星盘的齿槽处进入反应室内。

10.根据权利要求9所述化学气相沉积行星托盘装置的进气方法，其特征在于，传动盘正上方设有一进气装置，当所述辅助气体进入所述反应室时，反应气体自所述进气装置垂直注入所述反应室内并沿所述传动盘径向方向向多个所述行星盘表面扩散。