[发明专利]酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备、工作方法、控制系统、控制方法

说明书

本发明公开了一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备、方法、控制系统、控制方法，设计要点包括：溶解吸收缸(1)、氯化亚铁吸收装置(2)、液碱洗涤塔(3)、氯气管道(6)、第一射流器(7)、第一气体管道(9)、第二气体管道(10)、氯化亚铁再生装置(4)、真空挥发装置(5)、第二射流器(14)。本发明旨在提供一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备、方法、控制系统、控制方法，能够有效地处理氯气。

技术领域

本发明涉及蚀刻生产线一领域，更具体地说，尤其涉及一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备、方法、控制系统、控制方法。

背景技术

随着酸性蚀刻液铜回收与循环再生行业的迅猛发展，越来越多的PCB企业安装蚀刻液铜回收与再生设备，设备在运行过程中，电解产生的氯气通过溶解吸收缸蚀刻液吸收后，由于蚀刻液吸收有限，仍然有部分氯气经过处理后再排放，几乎所有企业都是采用铁吸收设备加铁与氯气反应后再经过一套液碱吸收塔处理达标排放，而用铁吸收设备加铁吸收氯气会产生三氯化铁液体，虽然三氯化铁液体可以提供PCB企业废水处理站代替硫酸亚铁作为聚凝剂。但是废水处理站需求量有限不能完全消耗所产生的三氯化铁液体，这样对多余的三氯化铁处理有一定的困难，为此，有必要研发一种氯气吸收处理系统装置，能够既不产生其他产物又能够吸收氯气。

发明内容

本发明的目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备。

本发明的另一目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备的工作方法。

本发明的再一目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备的控制系统。

本发明的再一目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备的控制系统的控制方法。

本发明的技术方案是这样实现的：

酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，包括：溶解吸收缸(1)、氯化亚铁吸收装置(2)、液碱洗涤塔(3)、氯气管道(6)、第一射流器(7)、第一气体管道(9)、第二气体管道(10)；

其中，所述溶解吸收缸(1)用于存放酸性蚀刻液，第一射流器(7)插入到溶解吸收缸(1)的内部，所述氯气管道(6)连接第一射流器的注气口；第一射流器(7)的注液口设置有液体管道，液体管道均设置有泵、且均与溶解吸收缸(1)底部的出液口连接；

所述溶解吸收缸(1)与氯化亚铁吸收装置(2)通过第一气体管道(9)连接；

其中，氯化亚铁吸收装置(2)包括：下部的回收槽(2-1)、以及上部的喷淋吸收槽(2-2)；所述上部的喷淋溶解槽(2-2)为至少1层；喷淋溶解槽(2-2)包括：喷淋吸收槽顶部的喷头(2-2-1)、喷淋吸收槽下部的散体填充物(2-2-2)；在氯化亚铁吸收装置的最顶层的喷淋溶解槽的顶部设置有出气口，其与第二气体管道(10)连接；氯化亚铁吸收装置(2)的内部各层槽体之间空气连通；

第二气体管道将氯化亚铁吸收装置(2)与液碱洗涤塔(3)连接；

其中，液碱洗涤塔(3)包括：下部的回收槽(3-1)、以及上部的喷淋吸收槽(3-2)；所述上部的喷淋溶解槽(3-2)为至少1层；喷淋溶解槽(3-2)包括：喷淋吸收槽顶部的喷头、喷淋吸收槽下部的散体填充物；在最顶层的喷淋溶解槽的顶部设置有出气口，用于排放废气。

进一步，在第一气体管道(9)、第二气体管道(10)中均设置有抽气装置。

进一步，还包括：氯化亚铁再生装置(4)、真空挥发装置(5)、第二射流器(14)；

其中，第二射流器(14)插入到溶解吸收缸(1)的内部，第二射流器(14)的注液口设置有液体管道，液体管道均设置有泵、且均与溶解吸收缸(1)底部的出液口连接；