[发明专利]高密封性高度可调电极

权利要求书

1.高密封性高度可调电极，包括电极总成，所述电极总成包括电极盖板(1)、绝缘体(2)、锁紧环(3)、电极架(4)、电极冷却接口(5)和电极体(6)；所述电极盖板(1)底部边缘通过螺栓与绝缘体(2)固定，所述锁紧环(3)固定在绝缘体(2)内侧台面，所述电极架(4)通过螺栓固定到锁紧环(3)上，所述电极体(6)固定在电极架(4)上，所述电极冷却接口(5)设置在电极架(4)内侧；

其特征在于：

还包括位移驱动装置总成；所述位移驱动装置总成包括外驱动件(7)、内表面设置内螺纹的内从动轮(8)、外护壳(9)、与外护壳(9)固定的支撑环(10)、内部中空且外侧顶端设置外螺纹的传动管(11)；所述外驱动件(7)驱动内从动轮(8)的转动，所述内从动轮(8)的内螺纹与传动管(11)顶端的外螺纹传动连接，所述外护壳(9)底侧与支撑环(10)之间设有限转销(12)，所述传动管(11)上远离外螺纹的下段侧面设有竖槽(13)，所述限转销(12)配合插入竖槽(13)内；

所述传动管(11)底部设有管下法兰(14)，所述传动管(11)通过管下法兰(14)与电极盖板(1)顶部固定。

2.根据权利要求1所述高密封性高度可调电极，其特征在于：所述外驱动件(7)包括步进电机(15)、与步进电机(15)输出轴传动连接的主动齿轮(16)，所述内从动轮(8)为与主动齿轮(16)相啮合的齿轮。

3.根据权利要求1所述高密封性高度可调电极，其特征在于：所述位移驱动装置总成还包括位移测量装置总成，所述位移测量装置总成包括位移传感器(17)、传感器固定架(18)、磁环固定板(19)、磁环固定扣(20)；所述传感器固定架(18)固定在外护壳(9)顶端，所述位移传感器(17)设置在传感器固定架(18)上，所述位移传感器(17)的测量杆(21)上的测量磁环(22)限制在磁环固定板(19)、磁环固定扣(20)内部，所述磁环固定板(19)两端固定在传动管(11)的顶端，所述测量磁环(22)可沿着测量杆(21)上下滑动。

4.根据权利要求1或3所述高密封性高度可调电极，其特征在于：所述支撑环(10)下方设有底管(23)，所述底管(23)下方侧面与传动管(11)外壁之间设有第一O型密封圈(24)。

5.根据权利要求1所述高密封性高度可调电极，其特征在于：所述管下法兰(14)与电极盖板(1)之间设有第二O型密封圈(25)，所述电极盖板(1)底部边缘与绝缘体(2)固定处设有第三O型密封圈(26)，所述绝缘体(2)顶部与电极架(4)之间设有第四O型密封圈(27)。

6.根据权利要求1所述高密封性高度可调电极，其特征在于：所述支撑环(10)的法兰盘顶部设有第五O型密封圈(28)。

7.根据权利要求1所述高密封性高度可调电极，其特征在于：所述电极体(6)外围设有屏蔽罩(29)。

8.根据权利要求7所述高密封性高度可调电极，其特征在于：所述屏蔽罩(29)外侧螺纹连接有罩体外壁(30)。

9.根据权利要求8所述高密封性高度可调电极，其特征在于：所述罩体外壁(30)包括第一外壁(31)和第二外壁(32)。