[发明专利]气体发生装置及方法

权利要求书

1.一种气体发生装置，其特征在于，该装置包括：控制系统、气体配置系统和反馈系统；

所述控制系统用于：

获取需要配置的目标气体的目标数据，所述目标数据包括所述需要配置的目标气体的气体组分和各气体组分的气体浓度；

至少根据所述气体组分控制所述气体配置系统将与所述气体组分对应的原料气体配置成待测气体；

获取所述反馈系统检测所述待测气体得到的反馈数据，所述反馈数据包括所述待测气体的气体组分和各气体组分的气体浓度；

根据所述反馈数据和所述目标数据得到的调节数据控制所述气体配置系统调节各所述原料气体的气体流量直到所述待测气体的反馈数据与所述目标数据一致。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括实验箱，用于容纳所述气体配置系统输出的所述待测气体；所述反馈系统设置在所述实验箱内，所述控制系统控制所述反馈系统检测所述实验箱内的待测气体。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述控制系统根据所述目标数据控制所述气体配置系统将至少两种所述原料气体配置成所述待测气体的情况下，其中一种所述原料气体至少包括稀释气体，所述稀释气体用于充稀其中至少另一种所述原料气体。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气体配置系统包括多组分动态配气系统，所述多组分动态配气系统包括至少两个质量流量控制器，各所述质量流量控制器的进气口用于通入所述原料气体，各所述质量流量控制器的出气端相互连通后与出气口连通，用于输出混合多种所述原料气体后形成的所述待测气体。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述多组分动态配气系统还包括流量计，设置在各所述质量流量控制器的出气端与所述出气口之间，用于计量并发送所述待测气体的气体流量；所述多组分动态配气系统还包括调节阀，设置在各所述质量流量控制器的出气端与排空口之间，用于所述控制系统根据获取所述流量计的所述气体流量得到的流量控制数据控制所述出气口的所述待测气体的气体流量。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气体配置系统包括液态有机气体配气系统，所述液态有机配气系统包括混合池、至少一个汽化池和至少两个质量流量控制器；

所述汽化池的进液口用于注入原料液体，所述汽化池用于将所述原料液体汽化成所述原料气体，所述汽化池的出气口通过电磁阀与所述质量流量控制器的第一进气口连通，用于向所述第一进气口通入汽化后的所述原料液体；

各所述质量流量控制器的第二进气口用于通入所述原料气体，各出气端与所述混合池连通，所述混合池的出气口用于输出混合多种所述原料气体后形成的所述待测气体，所述混合池的排空口用于所述控制系统控制所述出气口的所述待测气体的气体流量。

7.一种气体发生方法，其特征在于，该方法包括：

获取需要配置的目标气体的目标数据，所述目标数据包括所述需要配置的目标气体的气体组分和各气体组分的气体浓度；

至少根据所述气体组分控制所述气体配置系统将与所述气体组分对应的原料气体配置成待测气体；

获取所述反馈系统检测所述待测气体得到的反馈数据，所述反馈数据包括所述待测气体的气体组分和各气体组分的气体浓度；

根据所述反馈数据和所述目标数据得到的调节数据控制所述气体配置系统调节各所述原料气体的气体流量直到所述待测气体的反馈数据与所述目标数据一致。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，该方法还包括：

控制所述反馈系统检测实验箱内的待测气体并得到反馈数据。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在根据所述目标数据控制所述气体配置系统将至少两种所述原料气体配置成所述待测气体的情况下，其中一种所述原料气体至少包括稀释气体，所述稀释气体用于充稀其中至少另一种所述原料气体。