[发明专利]钴靶坯整平方法及夹具在审
| 申请号： | 201910896338.2 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110453165A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/10 | 分类号： | C22F1/10;C21D9/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 11646 北京超成律师事务所 | 代理人： | 张江陵<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 315000浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钴靶 夹具 热处理 整平 半导体溅射靶材 平面度要求 固定夹具 施加压力 轧制 夹具夹 平面的 平面度 夹紧 减小 坯夹 压平 去除 制备 平行 垂直 重复 | ||
1.一种钴靶坯整平方法，其特征在于，包括：
将钴靶坯(300)夹紧于夹具相互平行的两个平面之间；
沿垂直于所述平面的方向通过所述夹具对钴靶坯(300)施加压力，并重新固定所述夹具以使两个所述平面再次夹紧钴靶坯(300)；
重复上一个步骤，直至钴靶坯(300)的平面度达到要求；
对夹具及钴靶坯(300)组成的整体进行热处理，得到去除应力的钴靶坯(300)。
2.根据权利要求1所述的钴靶坯整平方法，其特征在于，使用热处理炉对夹具及钴靶坯(300)组成的整体进行热处理，且将热处理炉内的温度设置为低于422℃。
3.根据权利要求2所述的钴靶坯整平方法，其特征在于，将热处理炉内的温度设置为380-400℃。
4.根据权利要求2或3所述的钴靶坯整平方法，其特征在于，使钴靶坯(300)在热处理炉内保温2-4h。
5.根据权利要求4所述的钴靶坯整平方法，其特征在于，还包括在热处理之后，将夹具及钴靶坯(300)组成的整体从热处理炉内取出，并自然冷却至室温。
6.根据权利要求5所述的钴靶坯整平方法，其特征在于，还包括将钴靶坯(300)冷却至室温后，从夹具取出钴靶坯(300)。
7.根据权利要求1-3任一项所述的钴靶坯整平方法，其特征在于，使用油压机对夹具施加压力，进而对钴靶坯(300)施加压力。
8.一种夹具，其特征在于，能够用于权利要求1-7任一项所述的钴靶坯整平方法中钴靶坯(300)的夹紧，包括相对间隔设置的第一钢板(100)、第二钢板(200)以及用于连接所述第一钢板(100)和所述第二钢板(200)的连接件(400)，所述第一钢板(100)和所述第二钢板(200)能够相互靠近和远离，且所述连接件(400)能够调节二者之间的最大距离；
所述第一钢板(100)和所述第二钢板(200)之间的空间能够容纳钴靶坯(300)。
9.根据权利要求8所述的夹具，其特征在于，所述第二钢板(200)位于所述第一钢板(100)的下方，所述第二钢板(200)的下部设置有用于容纳叉车臂的容纳部(210)。
10.根据权利要求9所述的夹具，其特征在于，所述连接件(400)包括多个螺纹连接件，所述第一钢板(100)和所述第二钢板(200)开设有多组相互对应的通孔，多个所述螺纹连接件分别穿过多组所述通孔将钴靶坯(300)夹紧于所述第一钢板(100)和所述第二钢板(200)之间。
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