[发明专利]硅微陀螺敏感信号读出电路在审
| 申请号： | 201910896807.0 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112539744A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 畅璇;张兴成;孟真;刘谋;钟燕清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 陀螺 敏感 信号 读出 电路 | ||
1.一种硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：包括：
差分调制模块，包括单载波调制的电荷放大器，所述差分调制模块用于读出陀螺电容变化量并将电容变化量转换为电压信号；
信号解调模块，所述信号解调模块的输入接口与所述差分调制模块的输出接口连接，用于将所述差分调制模块输出的信号进行解调；
放大电路模块，所述放大电路模块的输入接口与所述信号解调模块的输出接口连接，用于将所述信号解调模块输出的信号进行放大；
滤波电路模块，所述滤波电路模块的输入接口与所述放大电路模块的输出接口连接，用于抑制放大电路模块输出的信号中的噪声。
2.如权利要求1所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述滤波电路模块包括压控电压源二阶低通滤波电路；所述压控电压源二阶低通滤波电路中的电阻为可变电阻，所述压控电压源二阶低通滤波电路中的电容为可变电容。
3.如权利要求1所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述差分调制模块包括单载波调制的电荷放大器。
4.如权利要求1所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述信号解调模块包括双通道单刀双掷模拟开关调制解调器。
5.如权利要求1所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述放大电路模块包括差分放大电路。
6.如权利要求5所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述差分放大电路为双端输入，单端输出的差分放大电路。
7.如权利要求5所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述差分放大电路中的电阻为可变电阻。
8.如权利要求1所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述信号解调模块包括相敏检波电路。
9.如权利要求4所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述信号解调模块的模拟开关控制信号与所述信号解调模块的输入信号同频同相。
10.如权利要求1所述硅微陀螺敏感信号读出电路，其特征在于：所述信号解调模块采用单载波进行解调。
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