[发明专利]一种复合阻氢涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201910897216.5 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110551984A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 于庆河;米菁;郝雷;刘晓鹏;王维静;李世杰;李帅;杜淼 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/08;G21B1/11 |
| 代理公司： | 11246 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属氧化物涂层 复合 不锈钢基体 金属过渡层 过渡层 奥氏体不锈钢 金属材料技术 马氏体不锈钢 氧化物涂层 沉积金属 气相沉积 制备工艺 布设 金属Al 制备 重复 | ||
1.一种复合阻氢涂层，其特征在于，包括依次布设的不锈钢基体(1)、金属过渡层(2)和金属氧化物涂层(3)，复合阻氢涂层的外层分别为不锈钢基体(1)和金属氧化物涂层(3)。
2.根据权利要求1所述复合阻氢涂层，其特征在于，所述不锈钢基体(1)为马氏体不锈钢或奥氏体不锈钢，所述的金属过渡层(2)为Al金属过渡层，金属氧化物涂层(3)为Al2O3涂层。
3.根据权利要求2所述复合阻氢涂层，其特征在于，所述奥氏体不锈钢为316L奥氏体不锈钢。
4.根据权利要求1所述复合阻氢涂层，其特征在于，所述的金属过渡层(2)和金属氧化物涂层(3)总厚度不超过5μm。
5.根据权利要求1所述复合阻氢涂层，其特征在于，所述复合阻氢涂层厚度为0.1-5μm。
6.根据权利要求1所述复合阻氢涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将不锈钢基体(1)单面抛光至粗糙度为0.1～2μm；
2)在步骤1)的不锈钢基体抛光面上以气相沉积方法制备金属过渡层(2)，以金属过渡层纯金属靶作为溅射靶材；先预抽真空，然后通入Ar气进行直流溅射；
3)在步骤2)得到的金属过渡层(2)上以气相沉积方法制备金属氧化物涂层(3)，以金属氧化物陶瓷靶材作为溅射靶材，先预抽真空，然后通入Ar气和O2混合气进行射频溅射；
4)交替重复上述步骤2)和步骤3)中金属过渡层(2)和金属氧化物涂层(3)的制备方法，最终获得金属过渡层/金属氧化物涂层交替叠加的复合阻氢涂层。
7.根据权利要求6所述制备方法，其特征在于，所述气相沉积方法为物理气相沉积方法。
8.根据权利要求7所述制备方法，其特征在于，所述物理气相沉积方法为磁控溅射方法。
9.根据权利要求6所述制备方法，其特征在于，步骤2)中所述真空度为10-6～10-2Pa，溅射电流为0.1～10A，溅射气压为0.1～10Pa，靶基距为10～200mm。
10.根据权利要求6所述制备方法，其特征在于，步骤3)中所述真空度为10-6～10-2Pa，Ar/O2气压比为10～50，溅射功率为100～500W，溅射气压为0.1～10Pa，靶基距为10～200mm。
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