[发明专利]一种用于细胞检测的微流控芯片及其制备方法

权利要求书

1.一种用于细胞检测的微流控芯片，其特征在于，所述微流控芯片用于单细胞、多细胞团或组织块检测，所述微流控芯片包括结构层(4)、绝缘层(5)和传感层(6)；

所述结构层(4)具有相对设置的第一面和第二面，所述第一面上设有油相进样口(1)、用于通入待测细胞的悬浮液的液相进样口(2)和出样口(3)，所述第二面上设有液滴产生区和至少一个液滴捕获区，所述液滴产生区分别与所述油相进样口(1)和所述液相进样口(2)相连通，用于产生包裹所述待测细胞的液滴(27)，所述至少一个液滴捕获区与所述液滴产生区相连通，用于捕获包裹所述待测细胞的液滴(27)；

所述绝缘层(5)与所述结构层(4)的第二面相贴合，用于将捕获的包裹所述待测细胞的液滴(27)与所述传感层(6)分隔开；

所述传感层(6)与所述绝缘层(5)相贴合，所述传感层(6)的电极结构与所述液滴捕获区对应，以实现对捕获的所述待测细胞的生命状态进行电学测量；

所述绝缘层(5)的一面与所述结构层(4)的第二面通过不可逆的等离子体键合贴合在一起；所述绝缘层(5)的厚度为100-300nm。

2.根据权利要求1所述的用于细胞检测的微流控芯片，其特征在于，所述微流控芯片还包括基底层(7)，所述基底层(7)与所述传感层(6)相贴合，用于对所述传感层(6)进行支撑。

3.根据权利要求2所述的用于细胞检测的微流控芯片，其特征在于，所述液滴产生区包括第一微流道(21)和第二微流道(22)，所述第一微流道(21)和所述第二微流道(22)分别与所述油相进样口(1)和所述液相进样口(2)相连通。

4.根据权利要求3所述的用于细胞检测的微流控芯片，其特征在于，所述液滴捕获区包括主通道(24)、旁通道(25)和过渡通道(26)，

所述旁通道(25)的一端与所述主通道(24)相连通，所述旁通道(25)的另一端与所述过渡通道(26)的一端相连通，所述过渡通道(26)的另一端与所述主通道(24)相连通；

所述旁通道(25)的宽度与所述主通道(24)的宽度相同，所述过渡通道(26)的宽度小于所述主通道(24)的宽度。

5.根据权利要求4所述的用于细胞检测的微流控芯片，其特征在于，所述液滴产生区还包括液滴产生接口(23)，所述第一微流道(21)、所述第二微流道(22)和所述主通道(24)相交于所述液滴产生接口(23)。

6.根据权利要求5所述的用于细胞检测的微流控芯片，其特征在于，所述第一微流道(21)、所述第二微流道(22)、所述主通道(24)、所述旁通道(25)和所述过渡通道(26)均采用软光刻工艺或者注塑工艺制成。

7.根据权利要求5所述的用于细胞检测的微流控芯片，其特征在于，所述第一微流道(21)的宽度为40-200μm，所述第二微流道(22)的宽度为20-200μm，所述液滴产生接口(23)的宽度为20-200μm，所述主通道(24)和所述旁通道(25)的宽度均为40-200μm，所述过渡通道(26)的宽度为15-100μm；

所述第一微流道(21)、所述第二微流道(22)、所述主通道(24)、所述旁通道(25)和所述过渡通道(26)的高度均为40-200μm。

8.根据权利要求2所述的用于细胞检测的微流控芯片，其特征在于，所述结构层(4)采用浇注工艺制成，所述结构层(4)的材质为透光柔性材料；

所述绝缘层(5)采用沉积工艺制成，所述绝缘层(5)的材质为绝缘材料；

所述传感层(6)采用沉积或者溅射工艺制成，所述传感层(6)的材质为传感材料；

所述基底层(7)通过粘合剂固定于PCB板上，所述基底层(7)的材质为玻璃或者透光材料。