[发明专利]一种半导体清洗处理箱体夹持工装

说明书

一种半导体清洗处理箱体夹持工装，属于半导体清洗处理技术领域，包括固定架和横向伸缩缸，所述固定架下方固定安装有水平的固定板，所述固定板后侧与横向伸缩缸缸体固定连接，固定板前侧通过滑动机构与横向伸缩缸缸轴固定连接，所述横向伸缩缸缸轴通过固定柱固定安装有后板，所述后板固定安装有后夹持架，所述固定板前端固定安装有前夹持架，所述前夹持架和后夹持架与夹持箱体形状相匹配。前夹持架和后夹持架通过横向伸缩缸提供动力，实现对箱体的夹持，结构简单，造价低廉，夹持紧固、稳定，实现高效稳定的自动化清洗处理，提高作业效率，降低成本。

技术领域

本发明属于半导体清洗处理技术领域，具体地说是一种半导体清洗处理箱体夹持工装。

背景技术

半导体材料须严格保证清洁，即使微量的污染也会导致半导体器件的失效。在长时间使用后，半导体表面易被污染，半导体清洗的目的在于清除半导体表面的污染杂质，包括有机物和无机物，以实现半导体材料的循环再利用，保证资源利用效率。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式附存于半导体的表面，在正常使用时，会导致各种缺陷。

在半导体处理清洗技术中，通常使用清洗溶液对半导体表面杂质进行反应、反复冲洗，以达到去除杂质的目的，在此清洗工艺系统中，通常是通过镂空的箱体盛放各种半导体碎片，通过夹持工装抓取，在清洗溶液中旋转往复冲洗，从而实现对半导体清洗处理的自动量产化，现今的夹持装置具有结构复杂，造价高，夹持不稳的问题，对自动量产清洗处理半导体严重影响其作业效率。

发明内容

为解决现今半导体清洗处理中，半导体箱体夹持工装具有结构复杂，体型大，造价高和夹持不稳的特点，导致大大影响自动量产清洗处理半导体的作业效率的问题，本发明提供一种半导体清洗处理箱体夹持工装。

本发明是通过下述技术方案来实现的。

一种半导体清洗处理箱体夹持工装，包括固定架和横向伸缩缸，所述固定架下方固定安装有水平的固定板，所述固定板后侧与横向伸缩缸缸体固定连接，固定板前侧通过滑动机构与横向伸缩缸缸轴固定连接，所述横向伸缩缸缸轴通过固定柱固定安装有后板，所述后板固定安装有后夹持架，所述固定板前端固定安装有前夹持架，所述前夹持架和后夹持架与夹持箱体形状相匹配。前夹持架和后夹持架通过横向伸缩缸提供动力，实现对箱体的夹持，结构简单，造价低廉，夹持紧固、稳定，实现高效稳定的自动化清洗处理，提高作业效率，降低成本。

本发明的进一步改进还有，上述滑动机构包括固定在固定板上的滑轨，所述滑轨上匹配安装有滑块，所述滑块上固定安装有连接板，所述连接板与横向伸缩缸缸轴固定连接，所述连接板通过固定柱与后板固定连接。结构安装牢靠，运行稳定、可靠。

本发明的进一步改进还有，上述固定板底部固定安装有竖直向下的纵向伸缩缸，所述纵向伸缩缸缸轴固定安装有与夹持箱体匹配的压板。通过压板压紧箱体上部，使夹持更加牢靠、紧密，避免箱体出现滑脱现象。

本发明的进一步改进还有，上述压板上开有窗口，所述窗口内安装有防护网。箱体可以不用加装上盖，通过压板压紧并密封箱体，避免箱体内部半导体在旋转冲洗过程中滑出，节省结构成本，提高作业效率。

本发明的进一步改进还有，上述压板前侧开有与前夹持架匹配的滑槽。使压板升降过程中运行更加稳定、顺畅，降低故障发生率。

本发明的进一步改进还有，上述前夹持架和后夹持架底端均固定安装有支撑板，所述前夹持架和后夹持架左右侧均向内折弯有侧限位板。通过底部支撑板和侧面的侧限位板对箱体进行夹持限位，使夹持更加牢靠、稳定，杜绝了箱体滑脱问题。

本发明的进一步改进还有，上述压板底侧面覆有PVC弹性垫。使密封更好，防止在清洗过程中，半导体碎片漂出的问题。

本发明的有益效果是：1、结构简单，安装连接牢靠，运行稳定；2、体积小，造价低廉，通用性好；3、夹持紧密牢靠，避免箱体在旋转清洗过程中滑脱现象，提高作业效率。

附图说明