[发明专利]一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件

权利要求书

1.一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件，其特征在于，包括：两个过滤片(1)、三个电极环(2)以及两个氧化锆片(3)，其中，按照过滤片(1)、电极环(2)、氧化锆片(3)、电极环(2)、氧化锆片(3)、电极环(2)、过滤片(1)的顺序依次对中叠放，所述三个电极环(2)分别与与其接触的上下两个层形成三个空腔。

2.根据权利要求1所述的传感元件，其特征在于，还包括：一个密封环(4)，所述密封环(4)设置在侧面上。

3.根据权利要求1所述的传感元件，其特征在于，所述过滤片(1)为多孔透气材料。

4.根据权利要求1所述的传感元件，其特征在于，所述过滤片(1)为氧化铝。

5.根据权利要求1所述的传感元件，其特征在于，所述氧化锆片(3)与所述电极环(2)接触的表面涂敷有多孔铂涂层。

6.根据权利要求1所述的传感元件，其特征在于，所述电极环(2)为环状结构，一侧设置有引出端。

7.根据权利要求2所述的传感元件，其特征在于，所述密封环(4)覆盖范围至少包含中间的电极环(2)与两个氧化锆片(3)的结合部位。

8.根据权利要求2或7所述的传感元件，其特征在于，所述密封环(4)通过烧结形成在所述传感元件的侧面上。