[发明专利]一种压力应力传感器的制备方法及其应用

权利要求书

1.一种压力应力传感器的制备方法，其特征在于包括如下工艺：首先将水溶性的Co通过溶液反应制备出氢氧化钴，然后将得到的产物在还原剂水合肼的作用下得到Co纳米片，将Co纳米片放入设计好的模具中，然后加入PDMS混合液凝固后加装电极得到目标传感器；具体如下步骤：

1）将硝酸钴溶于蒸馏水中，在磁力搅拌下形成0.1 mol/L的溶液A；在蒸馏水中加入氢氧化钠混合均匀形成1 mol/L的溶液B；在磁力搅拌机上，将溶液A逐滴滴加入溶液B中，搅拌使溶液B中的氢氧根离子和溶液A的钴离子形成氢氧化钴固体的悬浊液C；将悬浊液C倒入抽滤瓶进行抽滤并干燥后，得到固体D；

2）在反应釜中加入浓度为12.5-25mol/L氢氧化钠溶液，然后加入固体D，再加入质量分数为80%还原剂水合肼混合均匀，其中氢氧化钠溶液、固体D、水合肼的摩尔比为5-10：1：17-25，放入180-200摄氏度烘箱中反应60-120分钟，反应结束后将产物清洗干燥得到磁性Co纳米片E；

3）将磁性Co纳米片E加入到设计好结构的模具中铺匀压实，然后在模具中加入PDMS混合液，其中Co纳米片：PDMS混合液的质量比为1：2-8，放入真空干燥箱中抽真空-0.1- -0.85MPa，在30-120摄氏度下30-180分钟后凝固得到产物F；

4）将产物F划成片，加装电极，然后在器件表面涂加0.1-0.5mm PDMS与固化剂的混合物后封装得到传感器。

2.根据权利要求1所述的一种压力应力传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤3)中PDMS混合液由质量比为PDMS：固化剂：正己烷=10：1：10配置而成。

3.根据权利要求1或2所述的一种压力应力传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤4）中的固化剂为有机硅弹性体固化剂。

4.根据权利要求3所述的一种压力应力传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤3)为：在模具中加入PDMS混合液，在涡旋搅拌机上搅拌均匀，然后加入磁性Co纳米片E, 其中Co纳米片：PDMS混合液的质量比为1：2-8，然后涡旋搅拌机上搅拌均匀，转速为1500-3000r/min，然后均匀铺盖厚度为0.1mm-0.5mm的PDMS与固化剂的混合物到模具上, 放入真空干燥箱中抽真空-0.1- -0.85 MPa,在30-120摄氏度下，放置30-180分钟后，凝固得到产物F。

5.根据权利要求1所述的制备方法制备的压力应力传感器的应用，其特征在于：用于人造电子皮肤的压力应力的传感。

6.根据权利要求3所述的制备方法制备的压力应力传感器的应用，其特征在于：用于人造电子皮肤的压力应力的传感。

7.根据权利要求4所述的制备方法制备的压力应力传感器的应用，其特征在于：用于人造电子皮肤的压力应力的传感。