[发明专利]用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置

权利要求书

1.用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置，其特征在于，包括：

架体结构(10)，其用以搭载一用于超高真空中的反射镜(100)；

压电陶瓷单元(20)，可用以对所述反射镜(100)的底面形成支撑，并具有一个第一支撑位(A1)，所述第一支撑位(A1)对应所述反射镜(100)的一个贝塞尔点；

多个球头支撑单元(30)，可用以配合所述压电陶瓷单元(20)对所述反射镜(100)的底面形成支撑，并对应形成多个第二支撑位(A2)；

多个所述第二支撑位(A2)对应所述反射镜(100)的多个贝塞尔点；

其中，所述压电陶瓷单元(20)具有一工作状态；

在所述工作状态时，一组所述压电陶瓷单元(20)可在其对应的所述第一支撑位(A1)对所述反射镜(100)施加一可调整的作用力，以使得所述反射镜(100)位于该第一支撑位(A1)上的高度可上下调节，从而实现调节所述反射镜(100)的面形；

至少包括多个第一夹持单元(40)；

其中，至少两组所述第一夹持单元(40)在所述工作状态时相互配合，以在所述反射镜(100)的长度方向形成夹持，并用以补偿所述反射镜(100)的自身重力；以及

第二夹持单元(50)；

至少包括两个沿所述反射镜(100)长度方向的一侧布置的所述第二夹持单元(50)和两个沿所述反射镜(100)长度方向的另一侧布置的所述第一夹持单元(40)相互配合，以在所述反射镜(100)的宽度方向形成弹性夹持；

所述架体结构(10)具有：

第一承载台(110)，其水平设置，并沿所述架体结构(10)的长度方向设置；

其中，所述第一承载台(110)的中部形成一中空区域，以将所述第一承载台分隔成两组相同的承载部(111)；

其中，两组所述承载部(111)可部分支撑所述反射镜(100)，且所述反射镜(100)被任一一组所述承载部(111)支撑的部分包括所述反射镜(100) 的贝塞尔点。

2.根据权利要求1所述的用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置，其特征在于，所述架体结构(10)还具有：

四个安装位，任一一组所述承载部(111)沿其长度方向布置所述安装位，所述安装位(130)为一以竖直方向设置安装孔(140)，所述安装孔(140)内安装有所述压电陶瓷单元(20)或者所述球头支撑单元(30)；

其中，所述安装孔(140)对应所述反射镜(100)的贝塞尔点。

3.根据权利要求2所述的用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置，其特征在于：所述压电陶瓷单元(20)包括：

球形体(210)，其为不锈钢球，且其上端点为所述第一支撑位(A1)；

压电陶瓷件(211)，其设置在所述球形体(210)的下方，且其上端形成有一凹陷的半球槽(212)，所述球形体(210)安装在所述半球槽(212)内；

其中，所述压电陶瓷件(211)固定在所述安装孔(140)内；

其中，所述压电陶瓷件(211)用以在接通电源后通过电压增加或者减小以驱动所述球形体(210)沿所述安装孔(140)向上或者向下移动；以及

固定在所述安装孔内、位于所述压电陶瓷件(211)下方，以实现对该安装孔(140)上对应的所述第一支撑位(A1)进行压力检测的第一压力传感器(213)。

4.根据权利要求2所述的用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置，其特征在于，所述球头支撑单元(30)包括：

球头柱塞(310)，其一端球头，另一端为柱塞体，所述球头可在所述柱塞体上任意转动，所述球头的上端为所述第二支撑位(A2)；

其中，所述球头柱塞(310)固定在所述安装孔内；

第二压力传感器(311)，其固定在所述安装孔(140)内，并位于所述柱塞球头(310)的下方，其用以实现对该安装(140)上对应的所述第二支撑位(A2)进行压力检测。