[发明专利]磁控溅射工艺中直流电源的控制方法、控制装置及系统

权利要求书

1.一种磁控溅射工艺中直流电源的控制方法，其特征在于，包括：

控制器件预先接收工控机下发的参数指令，所述参数指令包括：电源设定功率、定时启动功率、电源加载时间；

在所述磁控溅射工艺的过程中，所述控制器件实时判断所述电源设定功率和定时启动功率是否满足预设条件；所述预设条件为：所述电源设定功率大于或等于所述定时启动功率，启辉工艺中的电源设定功率小于定时启动功率，沉积工艺中的电源设定功率大于或等于定时启动功率；

当所述电源设定功率和定时启动功率满足所述预设条件时，所述控制器件开始计时，同时控制所述直流电源输出所述电源设定功率；

当计时时间达到所述电源加载时间后，关闭所述直流电源；

当所述电源设定功率和定时启动功率不满足所述预设条件时，由所述工控机控制所述直流电源输出所述电源设定功率，且输出的时长为预定时长。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射工艺中直流电源的控制方法，其特征在于，在所述实时判断所述电源设定功率和定时启动功率是否满足预设条件之前，还包括：

当所述磁控溅射工艺进入启辉工艺步骤后，所述控制器件接收所述工控机下发的判断启动指令，开始执行所述实时判断所述电源设定功率和定时启动功率是否满足预设条件的步骤。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射工艺中直流电源的控制方法，其特征在于，

所述定时启动功率的取值范围为2000W-12000W；和/或

所述电源加载时间的取值范围为5-20s。

4.一种直流电源控制装置，其特征在于，所述直流电源控制装置包括控制器件，所述控制器件包括：

接收模块，用于预先接收工控机下发的参数指令，所述参数指令包括：电源设定功率、定时启动功率、电源加载时间；

判断模块，用于在磁控溅射工艺的过程中，实时判断所述电源设定功率和定时启动功率是否满足预设条件，所述预设条件为：所述电源设定功率大于或等于所述定时启动功率，启辉工艺中的电源设定功率小于定时启动功率，沉积工艺中的电源设定功率大于或等于定时启动功率；

执行模块，用于在所述判断模块判断所述电源设定功率和定时启动功率满足预设条件时，开始计时，同时控制直流电源输出所述电源设定功率；当计时时间达到所述电源加载时间后，关闭所述直流电源；

当所述电源设定功率和定时启动功率不满足所述预设条件时，由工控机控制所述直流电源输出所述电源设定功率，且输出的时长为预定时长。

5.根据权利要求4所述的直流电源控制装置，其特征在于，

判断模块，还用于在磁控溅射工艺进入启辉工艺步骤后，接收所述工控机下发的判断启动指令，开始实时判断当前步骤中所设定的所述电源设定功率和定时启动功率是否满足所述预设条件。

6.一种直流电源控制系统，其特征在于，包括：工控机、直流电源控制装置，其中，

所述工控机用于向所述直流电源控制装置下发参数指令，所述参数指令包括：电源设定功率、定时启动功率、电源加载时间；

所述直流电源控制装置为权利要求4-5任一项所述的直流电源控制装置；

所述工控机还用于在所述电源设定功率和定时启动功率不满足预设条件时，控制所述直流电源输出所述电源设定功率，且输出的时长为预定时长。