[发明专利]推断装置以及阀控制装置

说明书

本发明提供一种推断装置以及阀控制装置，其推断真空阀的调压时所使用的实效排气速度。推断装置(5)包括：激振部(52)，使开度信号(θs)与激振信号重叠，开度信号(θs)用于驱动自动压力控制阀(1)的阀体(11)，激振信号用于对阀体(11)进行激振，所述自动压力控制阀(1)设置在对腔室(3)进行排气的真空泵(4)与腔室(3)之间；以及推断部(51)，根据激振时的腔室内压力的压力响应，推断与经由自动压力控制阀(1)而被排气的气体相关的实效排气速度(Se)。

技术领域

本发明涉及一种推断装置以及阀控制装置。

背景技术

在干式蚀刻等半导体工艺中，一边使工艺气体流入腔室一边将腔室内压力维持成规定的压力来进行工艺。朝腔室中导入的工艺气体的多个气体种类的混合比、流量等工艺条件被事先决定，并以变成所述条件的方式由流量控制器进行调节。另外，腔室压力也是重要的工艺条件之一，通常在腔室与真空泵之间设置压力调整用的自动压力调整阀(也被称为自动压力控制(Automatic Pressure Control，APC)阀)(例如，参照专利文献1)。腔室压力由真空计来测量，通过以变成事先决定的规定的压力值的方式控制阀的阀体开度位置，而将腔室的压力保持成规定压力值。在自动压力控制阀中事先存储真空排气装置的排气特性数据，根据所述排气特性数据进行调压动作。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-093497号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，事先存储的排气特性数据通常是基于与实际使用的工艺气体不同的标准的气体(例如，氮气或氩气)的数据。包含自动压力控制阀与真空泵的排气系统的排气特性也依存于气体种类，因此若排气特性数据的气体种类与工艺气体不同，则存在压力调整的精度下降这一问题。

[解决问题的技术手段]

根据本发明的优选的形态的推断装置包括：激振部，使开度信号与激振信号重叠，所述开度信号用于驱动真空阀的阀体，所述激振信号用于对所述阀体进行激振，所述真空阀设置在对腔室进行排气的真空泵与所述腔室之间；以及推断部，根据激振时的腔室内压力的压力响应，推断与经由所述真空阀而被排气的气体相关的排气特性。

在更优选的形态中，所述推断部根据所述激振信号的激振振幅、所述压力响应、以及表示所述阀体的开度变化与腔室内压力的变化的关系的设备增益(plant gain)，推断与经由所述真空阀而被排气的气体相关的实效排气速度。

在更优选的形态中，所述激振部以表示所述阀体的开度变化与腔室内压力的变化的关系的设备增益与所述激振信号的激振振幅的积为固定的方式，设定所述激振振幅。

在更优选的形态中，所述排气特性是与经由所述真空阀而被排气的气体相关的实效排气速度，且当将所述腔室的容积设为V，将所述实效排气速度的推断开度范围的上限开度中的实效排气速度设为Semax，将所述激振信号的角频率设为ω时，所述激振部以ω＞Semax/V的方式设定所述激振信号的角频率。

根据本发明的优选的形态的阀控制装置包括生成真空阀的阀体的开度信号的调压部，且所述调压部根据由所述形态的任一者中记载的推断装置所推断的所述排气特性，生成所述开度信号。

根据本发明的优选的形态的阀控制装置包括：存储部，存储与经由安装在腔室的真空阀而被排气的气体相关的实效排气速度及腔室容积；调压部，根据已被存储在所述存储部的实效排气速度及腔室容积，生成所述真空阀的阀体的开度信号；校正部，根据将安装在导入有规定分子量及规定流量的气体的所述腔室的所述真空阀控制成多个开度时的腔室内压力，校正已被存储在所述存储部的实效排气速度及腔室容积；以及判定部，根据由所述形态的任一者中记载的推断装置所推断的所述排气特性，判定所述气体的分子量及流量是否与所述规定分子量及所述规定流量一致。