[发明专利]干式初级真空泵和控制吹扫气体的喷射的方法

权利要求书

1.一种干式初级真空泵（1），包括：

-至少两个泵送级（2a-2e），它们串联安装在该干式初级真空泵（1）的吸入口（3）和排出口（4）之间，

-两个转子（5），它们在所述泵送级（2a-2e）中延伸，这些转子（5）构造成沿相反的方向同步旋转以便在所述吸入口（3）与所述排出口（4）之间驱动待泵送的气体，

-喷射装置（9），它构造成在至少一个泵送级（2a-2e）中分配吹扫气体，该喷射装置包括：

o至少一个喷射构件（12a-12e），和

o具有开闭控制的至少一个喷射阀（13；16a-16e），它旨在插置于吹扫气体供应源与所述至少一个喷射构件（12a-12e）之间，

其特征在于，该干式初级真空泵（1）还包括控制装置（10），该控制装置构造成控制所述至少一个喷射阀（13；16a-16e）的打开和关闭，以便通过相继的脉冲向至少一个泵送级（2a-2e）中喷射吹扫气体，由此沿着与泵送气体流动方向相反的方向从排出口到吸入口相继地将吹扫气体引入每个泵送级中或者沿着从吸入口到排出口的气体流动方向相继地将吹扫气体引入每个泵送级中。

2.根据权利要求1所述的干式初级真空泵（1），其特征在于，所述喷射装置（9）包括：

-分配歧管（11），该分配歧管构造成在泵送级（2a-2e）中分配吹扫气体，

-用于每个泵送级（2a-2e）的喷射构件（12a-12e），该喷射构件插置在所述分配歧管（11）与相应的泵送级（2a-2e）之间。

3.根据权利要求2所述的干式初级真空泵（1），其特征在于，所述喷射装置包括布置在所述分配歧管（11）的由泵送级（2a-2e）共用的分支（14）上的喷射阀（13）。

4.根据权利要求2所述的干式初级真空泵（1），其特征在于，所述喷射装置（9）包括用于每个泵送级（2a-2e）的喷射阀（16a-16e），所述用于每个泵送级的喷射阀布置在所述分配歧管（11）的适于在相应的泵送级（2a-2e）中分配吹扫气体的相应旁路（15a-15e）上。

5.根据前述权利要求中任一项所述的干式初级真空泵（1），其特征在于，该干式初级真空泵还包括附加喷射装置（17），该附加喷射装置包括：

-用于在泵送级（2a-2e）中分配吹扫气体的分配歧管（11），

-用于每个泵送级（2a-2e）的喷射构件（12a-12e），它插置在所述附加喷射装置的所述分配歧管（11）与相应的泵送级（2a-2e）之间，

-可控制的连续喷射阀（18），它布置在所述附加喷射装置的所述分配歧管（11）的由泵送级（2a-2e）共用的分支（14）上，所述控制装置（10）还构造成控制所述连续喷射阀（18）的打开以便将吹扫气体连续地喷射到泵送级（2a-2e）中。

6.根据权利要求1所述的干式初级真空泵（1），其特征在于，所述脉冲的频率在0.1Hz到5Hz之间。

7.根据权利要求1所述的干式初级真空泵（1），其特征在于，以脉冲喷射的吹扫气体的流量在17 Pa.m³/s到202 Pa.m³/s之间。

8.根据权利要求1所述的干式初级真空泵（1），其特征在于，所述喷射阀的打开时间/关闭时间在1-80%之间。

9.根据权利要求8所述的干式初级真空泵（1），其特征在于，所述喷射阀的打开时间/关闭时间在40-80%之间。

10.一种用于控制向干式初级真空泵（1）中的吹扫气体的喷射的方法，该干式初级真空泵为根据权利要求1所述的干式初级真空泵，其特征在于，控制所述至少一个喷射阀（13；16a-16e）的打开以便通过相继的脉冲将吹扫气体喷射到至少一个泵送级（2a-2e）中。