[发明专利]用于化学机械研磨之固定环

权利要求书

1.一种固定环，用于以一研磨液研磨一晶圆时固定前述晶圆，包含：

一环状主体，具有一外表面、一内表面以及一用于容纳前述晶圆的内部空间；前述环状主体包含复数通道，连接前述外表面及内表面，使前述研磨液由前述外表面流入前述内部空间；以及

复数导引件对应于前述复数通道，位于前述环状主体的外表面；每一前述导引件与前述环状主体形成一研磨液捕集区域；前述研磨液捕集区域将前述研磨液导入每一对应之前述通道中；每一前述导引件凸出于前述环状主体的前述外表面，且包含一第一部件以及与前述第一部件连接之一第二部件，前述第一部件之一端与前述环状主体之外表面连接；前述第二部件由前述第一部件之另一端向前述固定环之研磨方向延伸。

2.如权利要求1所述之固定环，其特征在于，前述环状主体具有一上表面，以及一平行于前述上表面之下表面。

3.如权利要求2所述之固定环，其特征在于，每一前述通道为一位于前述环状主体之下表面之一沟槽。

4.如权利要求1所述之固定环，其特征在于，前述环状主体具有一旋转轴；前述复数通道以相同之间隔角度围绕设置于前述环状主体之旋转轴。

5.如权利要求1所述之固定环，其特征在于，每一前述通道具有一外部开口以及一内部开口；前述外部开口位于前述环状主体之外表面；前述内部开口位于前述环状主体之内表面。

6.如权利要求1所述之固定环，其特征在于，前述固定环具有一旋转轴；前述固定环以前述旋转轴为轴心沿着前述研磨方向旋转以研磨前述晶圆；前述导引件沿着前述研磨方向由前述环状主体之外表面向外延伸。

7.如权利要求1所述之固定环，其特征在于，每一前述导引件具有一V型结构。

8.如权利要求1所述之固定环，其特征在于，每一前述导引件具有一弧型结构。

9.如权利要求1所述之固定环，其特征在于，每一前述导引件为由前述环状主体之外表面向外延伸之一叶片结构。