[发明专利]一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件

权利要求书

1.一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于包括：测量元件(1)、陶瓷电连接器(2)、流道组件(3)；

流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；

测量元件(1)用于感受被测流体流量，形成流量信号，将流量信号转换为电压模拟量，通过陶瓷电连接器(2)输出；陶瓷电连接器(2)用于承载测量元件(1)；

流道组件(3)的外壳体上设有环形跑道形状的凹槽，凹槽底部与流体通道连通；测量元件(1)通过与陶瓷电连接器(2)连接后形成测量单元；测量单元中测量元件(1)面向流道组件(3)中的流体通道，并伸入到流体通道中，测量单元和流道组件(3)外壳体通过电子束焊接方式进行密封；

测量元件(1)，包括：四个温度敏感电阻和八个功能端；

四个温度敏感电阻，分别为薄膜电阻R1、薄膜电阻R2、薄膜电阻R3、薄膜电阻R4；

薄膜电阻R1作为上游测温电阻、薄膜电阻R2作为上游加热电阻，薄膜电阻R3作为下游加热电阻，薄膜电阻R4作为下游测温电阻；

八个功能端，上游测温电阻第一测量端、上游测温电阻第二测量端、上游加热电阻第一测量端、上游加热电阻第二测量端、下游测温电阻第一测量端、下游测温电阻第二测量端、下游加热电阻第一测量端、下游加热电阻第二测量端；

薄膜电阻R1的一端连接上游测温电阻第一测量端，薄膜电阻R1的另一端连接上游测温电阻第二测量端；

薄膜电阻R2的一端连接上游加热电阻第一测量端，薄膜电阻R2的另一端连接上游加热电阻第二测量端；

薄膜电阻R3的一端连接下游加热电阻第一测量端，薄膜电阻R3的另一端连接下游加热电阻第二测量端；

薄膜电阻R4的一端连接下游测温电阻第一测量端，薄膜电阻R4的另一端连接下游测温电阻第二测量端。

2.根据权利要求1所述的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于：陶瓷电连接器(2)，包括：传输基座、焊针、刚性连接圈；

传输基座，包括：导电薄膜层、陶瓷层；导电薄膜层加工在陶瓷层上；

陶瓷层上设置有微孔，焊针的一端通过钎焊的方式插入微孔中，焊针的另一端作为信号输出端；

刚性连接圈套在传输基座外侧，并通过钎焊的方式与传输基座固连；

陶瓷层上设有：测量元件安装槽；

导电薄膜层为八根信号传输线，每根传输线分为两层，分别是镍铬层和金层，镍铬层底面与陶瓷层接触，镍铬层表面附有金层；

八根信号传输线的一端能够与测量元件(1)的八个功能端分别相连；八根信号传输线的另一端与八根焊针的插入微孔中一端连接。

3.根据权利要求1所述的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于：流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；外壳体上设有安装孔，能够与外部连接；

外壳体的两端设有连接口，能够与外部管路连接。

4.根据权利要求1所述的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于：外壳体设有的环形跑道形状的凹槽，包括：第一直线段、第二直线段、第一弧线段、第二弧线段；

第一直线段的一端连接第一弧线段的一端，第一弧线段的另一端连接第二直线段的一端，第一直线段的另一端连接第二弧线段的一端，第二弧线段的另一端连接第二直线段的另一端。

5.根据权利要求1所述的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于：流道组件(3)的流体通道承载被测流体，形成层流换热通道。

6.根据权利要求1所述的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于：陶瓷电连接器(2)用于承载测量元件(1)，通过陶瓷材料上的导电薄膜层将测量元件(1)所测信号输出，同时与流道组件(3)配合，起到承压与密封作用。

7.根据权利要求1所述的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于：测量元件(1)为方形芯片，芯片上椭圆区域为测量区域，内部为4个温度敏感电阻；芯片下方具有8个焊盘，输出芯片上的电阻信号。