[发明专利]一种承载头和化学机械抛光设备

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光的承载头，其特征在于，包括承载盘、柔性膜、环状压盘、保持环和至少一个柔性膜固定圈；

所述柔性膜具有边缘皱壁和至少一个内皱壁，所述边缘皱壁及内皱壁被环状压盘夹紧至承载盘以形成可调压腔室；

所述保持环耦接至所述承载盘下方并包围所述柔性膜固定圈；

所述柔性膜固定圈卡合于所述边缘皱壁的外侧和/或内侧，以保持所述边缘皱壁；

所述柔性膜固定圈和所述保持环中分别配置磁动部，使得柔性膜圆周边缘可受控下压。

2.如权利要求1所述的承载头，其特征在于，承载头顶部设置有滑环，所述线圈电连接至所述滑环，并通过所述滑环与外部电路电连接。

3.如权利要求1所述的承载头，其特征在于，所述承载盘中设置有电池和无线控制模块，所述线圈电连接至所述无线控制模块，所述无线控制模块由所述电池供电。

4.如权利要求3所述的承载头，其特征在于，所述无线控制模块的控制方式为蓝牙、射频识别、近场通信、ZigBee或其他短距离无线控制方式中的至少一种。

5.如权利要求4所述的承载头，其特征在于，所述电池与线圈之间连接有充电模块，使得可以通过无线充电方式对所述电池进行充电。

6.如权利要求1所述的承载头，其特征在于，所述柔性膜固定圈包括柔性膜外圈和柔性膜内圈，两者分别卡合于所述边缘皱壁的外侧和内侧。

7.如权利要求6所述的承载头，其特征在于，所述线圈在竖直平面的投影与柔性膜外圈在竖直平面的投影重合。

8.如权利要求7所述的承载头，其特征在于，所述保持环的内周壁为非金属。

9.如权利要求6-8中任一项所述的承载头，其特征在于，所述柔性膜外圈为内嵌有永磁体的工程塑料，所述保持环中嵌设有线圈。

10.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的承载头。