[发明专利]一种原位在线反射光学测量系统及方法

权利要求书

1.一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，包括：用于提供材料生长环境的材料生长模块和用于实现材料生长原位监测的光学检测模块；

所述材料生长模块包括材料生长部，所述材料生长部上设有用于提供入射光和出射光进出路径的窗口；

所述光学检测模块包括光源，所述光源发出的光经过传递自所述的窗口入射到样品上，经反射后，出射光自所述窗口射出并被光谱仪收集。

2.如权利要求1所述的一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，所述材料生长部包括管式炉，所述管式炉与气体供应装置和真空泵分别连接；

或者，所述所述管式炉与气体供应装置合常压排气装置分别连接。

3.如权利要求2所述的一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，所述气体供应装置包括：气瓶和气体流量控制器；通过所述气体流量控制器调节气瓶内气体的流速。

4.如权利要求1所述的一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，所述材料生长部内设有第一置物台和第二置物台，分别用于承载原材料和衬底。

5.如权利要求1所述的一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，所述光学检测模块还包括：入射光纤、第一准直镜、第一离轴抛物面镜、第二离轴抛物面镜、第二准直镜和出射光纤；

光源发出的光依次经过入射光纤、第一准直镜和第一离轴抛物面镜，通过所述窗口照射到原材料上；出射光通过所述窗口传出，依次经过第二离轴抛物面镜、第二准直镜和出射光纤进入光谱仪。

6.如权利要求5所述的一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，所述光谱仪将出射光纤传递的光信号转化为电信号，并传送至处理器；所述处理器将光谱仪传递的电信号进行处理、分析和存储。

7.如权利要求1所述的一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，所述光学检测模块还包括：光束调整模块，所述光束调整模块包括：可移动平台，所述可移动平台上设有若干可伸缩支架，每一个可伸缩支架连接光学调整架，所述光学调整架连接第一准直镜、第一离轴抛物面镜、第二离轴抛物面镜或者第二准直镜。

8.如权利要求7所述的一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，所述可移动平台上设有移动沟槽，可伸缩支架上设有与所述移动沟槽相匹配的滑块；可伸缩支架垂直安放在移动沟槽中。

9.如权利要求7所述的一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，所述可伸缩支架包括：支撑杆和接杆支架；所述支撑杆嵌入到接杆支架内，通过调整支撑杆嵌入接杆支架内部的长度实现支架的伸缩；

光学调整架包括：面板，所述面板一面设有用于固定准直镜或者离轴抛物面镜的限位孔；所述面板背面设有用于调整面板角度的旋转调节器。

10.一种原位在线反射光学测量方法，其特征在于，包括：

为材料生长部提供设定的气体环境和温度环境；

光源发出的光经过传输、反射后，经过材料生长部上的窗口照射到原材料上，出射光自所述窗口射出，并传输至光谱仪；

光谱仪将出射光信号转化为电信号，并传送至处理器；通过处理器对光谱仪传递的电信号进行处理、分析和存储。