[发明专利]一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法在审

专利信息
申请号: 201910922844.4 申请日: 2019-09-27
公开(公告)号: CN110646473A 公开(公告)日: 2020-01-03
发明(设计)人: 王丽娟;孙强;朱阳阳;谢强;王璐 申请(专利权)人: 长春工业大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;H01L51/05
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130012 吉林*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 气体敏感层 绝缘层 叉指电极 降低器件 纳米粒子 传感器 蒸镀 修饰 二氧化硅绝缘层 无机纳米粒子 真空蒸镀技术 传感器制备 聚合物混合 绝缘层气体 气体传感器 工作电压 介电常数 响应能力 制备工艺 复合材料 聚合物 硅衬底 灵敏度 相容性 改性 功耗 旋涂 制备 薄膜
【权利要求书】:

1.一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法,其特征在于:器件结构包括硅衬底(1),二氧化硅绝缘层(2),PVP/TiO2复合材料绝缘层(3),P3HT气体敏感层(4)以及用于检测器件性能变化的Ag叉指电极(5),PVP/TiO2复合材料绝缘层(3)和P3HT气体敏感层(4)均通过简单的旋涂工艺制备,Ag叉指电极(5)通过真空蒸镀技术得到。

2.权利要求1所述的一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法,其特征在于:PVP/TiO2复合材料绝缘层(3)为TiO2纳米粒子修饰的PVP聚合物(6)的复合材料,且TiO2纳米粒子经过吡啶修饰以增加与PVP聚合物(6)的相容性,PVP聚合物(6)与吡啶修饰的TiO2纳米粒子(7)的质量比为1%-3%;PVP/TiO2复合材料绝缘层制备过程中,PVP/TiO2的复合材料溶于乙醇溶剂中,溶液浓度为5-30 mg/ml,PVP/TiO2复合材料溶液在2000-3000 rmp条件下旋涂到清洗干净的硅片上,旋转1-2 min成膜,随后将器件放在退火装置上在140-160℃条件下退火2-3 h,形成PVP/TiO2复合材料绝缘层(3)薄膜。

3.权利要求1所述的一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法,其特征在于:P3HT气体敏感层(4)为在PVP/TiO2复合材料绝缘层(5)上旋涂氯苯溶解的P3HT溶液,溶液浓度为5-30 mg/ml,之后在100-120℃条件下下退火20-30 min。

4.权利要求1所述的一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法,其特征在于:在8×10-4 Pa的真空条件下用掩模板在P3HT气体敏感层(4)上蒸镀Ag叉指电极(5)为200-300 nm。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春工业大学,未经长春工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910922844.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top