[发明专利]三轴电容式微加速度计

权利要求书

1.一种三轴电容式微加速度计，其特征在于，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在所述平面检测层与所述离面检测层之间的基底层以及设置在所述离面检测层底部的衬底层；

其中，所述平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计；

其中，所述第一梳齿式微加速度计及所述第二梳齿式微加速度计分别包括质量块、可动电极、固定电极、支撑梁、锚点区，所述质量块通过四根所述支撑梁悬空位于所述基底层顶部，所述可动电极一端连接于所述质量块，所述固定电极一端连接于所述锚点区，支撑梁一端连接于所述质量块，另一端连接锚点区，所述锚点区连接于所述基底层；

其中，所述摆式微加速度计包括中间极板、上极板及下极板，所述中间极板设置在所述上极板与所述下极板之间，所述上极板位于所述基底层，所述下极板位于所述衬底层。

2.根据权利要求1所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，还包括：

第一绝缘层及第二绝缘层，所述中间极板通过所述第一绝缘层连接于所述衬底层，通过所述第二绝缘层连接于所述基底层。

3.根据权利要求2所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，所述中间极板包括：中极引线区、中极锚点区、中极悬臂梁及中极质量块，所述中极引线区一端连接于所述中极锚点区，所述中极悬臂梁一端连接于所述中极锚点区，另一连接于所述中极质量块。

4.根据权利要求3所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，所述上极板包括：上极引线区、上极锚点区及上极电容区，所述上极引线区连接于所述上极锚点区，所述上极电容区位于所述上极锚点区内侧，所述上极锚点区位于所述基底层。

5.根据权利要求4所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，所述下极板包括：下极引线区、下极锚点区及下极电容区，所述下极引线区连接于所述下极锚点区，所述下极电容区位于所述下极锚点区内侧，所述下极锚点区位于所述衬底层。

6.根据权利要求5所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，所述中极锚点区、所述上极锚点区及所述下极锚点区在水平面上的投影相重合，所述第一绝缘层位于所述中极锚点区与所述下极锚点区之间，所述第二绝缘层位于所述中极锚点区与所述上极锚点区之间。

7.根据权利要求5所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，所述第一绝缘层的厚度与所述中极质量块与所述下极电容区之间的距离相适配，所述第二绝缘层的厚度与所述中极质量块与所述上极电容区之间的距离相适配。

8.根据权利要求5所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，所述中极悬臂梁的厚度小于所述中极质量块的厚度。

9.根据权利要求5所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，所述中极引线区、所述上极引线区及所述下极引线区不在同一个竖直方向上。

10.根据权利要求5所述的三轴电容式微加速度计，其特征在于，还包括：

第三绝缘层，所述第一梳齿式微加速度计及所述第二梳齿式微加速度计的所述锚点区通过所述第三绝缘层连接于基底层。